技术编号：32860711
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及光学技术领域，尤其是涉及一种基于磁悬浮定位技术的迈克尔逊干涉仪的动镜系统。背景技术.目前市面上的迈克尔逊干涉仪的动镜系统主要有两种工作方式。一种是精密丝杠配合精密螺母实现的机械式的动镜系统。这种机械式的动镜系统受到机械加工精度和加工工艺的限制，造成了其机械零件的制造加工困难。同时也增加了制造成本。而且由于机械零件采用的是金属材料，随着时间的流逝，或者保养不到位等问题，将造成机械零件的氧化、生锈、尺寸变化、机械磨损等，从而影响干涉仪的精度。与此同时，由于金属材料具有一定的热膨胀系数...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。