一种基于磁悬浮定位技术的迈克尔逊干涉仪的动镜系统的制作方法

1.本申请涉及光学技术领域，尤其是涉及一种基于磁悬浮定位技术的迈克尔逊干涉仪的动镜系统。


背景技术：

2.目前市面上的迈克尔逊干涉仪的动镜系统主要有两种工作方式。一种是精密丝杠配合精密螺母实现的机械式的动镜系统。这种机械式的动镜系统受到机械加工精度和加工工艺的限制，造成了其机械零件的制造加工困难。同时也增加了制造成本。而且由于机械零件采用的是金属材料，随着时间的流逝，或者保养不到位等问题，将造成机械零件的氧化、生锈、尺寸变化、机械磨损等，从而影响干涉仪的精度。与此同时，由于金属材料具有一定的热膨胀系数，当受到外界环境温度变化的时候，也会对测量系统造成难以消除的误差影响。所以机械式的动镜系统将会受到环境温度、环境湿度、加工条件和加工材料所带来的各种干扰，导致一系列的综合影响因素，从而影响了仪器测量的误差。所以目前这种机械结构的动镜系统，由于其种种缺陷的原因，它目前只用于一些教学演示仪器上面，不会用在实际的科研和医疗设备中。
3.目前实际的科研仪器或医疗设备中采用的迈克尔逊干涉仪中的动镜系统，多数采用空气轴承技术。这种技术要求对轴承的材料和研磨精度有着极高的要求。所以空气轴承精度更高，而且没有机械接触。通常情况下，空气主轴能够在轴向获得小于0.1μm的旋转精确度。由于转子和静态支撑部分之间没有机械接触，所以也没有磨损产生。但是空气轴承必须对环境要求绝对的干净空间。否则一切精度都将被打破。通常采用空气轴承的迈克尔逊干涉仪内，都会有一个相对密封的无尘腔，里面是一个绝对无尘环境。这也就给这种设备的维修带来了巨大的困难。所以通常都是直接更换总成。而且对于生产环境要求也是极为苛刻的。也同样要求生产空气轴承的工作间为绝对无尘环境。否则将无法保证空气轴承的精度。
4.综上所述，目前想要制造迈克尔逊干涉仪的动镜系统，无论使用哪一种现有的技术方案，必须有足够加工精度的设备和工艺才可以。同时也会对制造环境有着严格的要求。而且制作出来的动镜系统也会受到使用频率和时间的影响。所以导致了制作动镜系统的技术门槛比较高。而且需要前期的大量场地和设备的投入。


技术实现要素：

5.针对现有技术的问题，本申请提供一种基于磁悬浮定位技术的迈克尔逊干涉仪的动镜系统，具有加工制作简单，可以降低制造迈克尔逊干涉仪的技术门槛的技术效果，同时为迈克尔逊干涉仪的动镜系统增添了一种全新的技术实现方案。
6.本申请提供的种基于磁悬浮定位技术的迈克尔逊干涉仪的动镜系统,采用如下的技术方案：
7.一种基于磁悬浮定位技术的迈克尔逊干涉仪的动镜系统，包括镜片底座和设置于
镜片底座上端的反光镜，镜片底座侧面设有多根连接杆，连接杆远离镜片底座的一端连接磁极球；与磁极球对应设有电磁铁组，电磁铁组包括线圈、磁极头、螺栓、支架；所述线圈通过螺栓安装于支架上，线圈内设置有磁极头，所述线圈连接电源；在线圈、磁极头和磁极球的作用下镜片底座处于悬浮状态。
8.优选的，所述支架上设有安装孔。
9.优选的，所述连接杆数量为三根，每根连接杆之间的夹角为120
°
。
10.优选的，所述反光镜为金属反光镜。
11.优选的，每个所述磁极球对应三个电磁铁组。
12.综上所述，具有以下益技术效果：采用电磁的方式让动镜漂浮在空间中，同时通过电流控制着反光镜的空间位置，较现有技术而言，不会因为使用频率和使用时间的增加而导致精度的损失。由于其核心零件只采用了电磁铁，所以加工制造非常简单容易。降低了生产设计和制造的技术门槛。
附图说明
13.图1是本申请的结构示意图。
14.附图标记说明：1、镜片底座；2、反光镜；3、连接杆；4、磁极球；5、电磁铁组；6、线圈；7、磁极头；8、螺栓；9、支架；10、安装孔。
具体实施方式
15.以下结合附图1对本申请作进一步详细说明。
16.本实施例的一种基于磁悬浮定位技术的迈克尔逊干涉仪的动镜系统，参照附图1，包括镜片底座1和设置于镜片底座1上端的反光镜2，镜片底座1侧面设有多根连接杆3，连接杆3远离镜片底座1的一端连接磁极球4；与磁极球4对应设有电磁铁组5，电磁铁组5包括线圈6、磁极头7、螺栓8、支架9；所述线圈6通过螺栓8安装于支架9上，线圈6内设置有磁极头7，所述线圈6连接电源；在线圈6、磁极头7和磁极球4的作用下镜片底座1处于悬浮状态。
17.在一实施例中，参照附图1，所述支架9上设有安装孔10。可通过安装孔10将支架9进行固定。
18.在一实施例中，参照附图1，所述连接杆3数量为三根，每根连接杆3之间的夹角为120
°
。
19.在一实施例中，参照附图1，所述反光镜2为金属反光镜2。
20.在一实施例中，参照附图1，每个所述磁极球4对应三个电磁铁组5。
21.本具体实施方式的实施例均为本发明的较佳实施例，并非依此限制本发明的保护范围，故：凡依本发明的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本发明的保护范围之内。


技术特征：
1.一种基于磁悬浮定位技术的迈克尔逊干涉仪的动镜系统，包括镜片底座和设置于镜片底座上端的反光镜，其特征是，镜片底座侧面设有多根连接杆，连接杆远离镜片底座的一端连接磁极球；与磁极球对应设有电磁铁组，电磁铁组包括线圈、磁极头、螺栓、支架；所述线圈通过螺栓安装于支架上，线圈内设置有磁极头，所述线圈连接电源；在线圈、磁极头和磁极球的作用下镜片底座处于悬浮状态。2.根据权利要求1所述的一种基于磁悬浮定位技术的迈克尔逊干涉仪的动镜系统，其特征在于：所述支架上设有安装孔。3.根据权利要求1所述的一种基于磁悬浮定位技术的迈克尔逊干涉仪的动镜系统，其特征在于：所述连接杆数量为三根，每根连接杆之间的夹角为120
°
。4.根据权利要求1所述的一种基于磁悬浮定位技术的迈克尔逊干涉仪的动镜系统，其特征在于：所述反光镜为金属反光镜。5.根据权利要求1所述的一种基于磁悬浮定位技术的迈克尔逊干涉仪的动镜系统，其特征在于：每个所述磁极球对应三个电磁铁组。

技术总结
本申请尤其是涉及一种基于磁悬浮定位技术的迈克尔逊干涉仪的动镜系统，包括镜片底座和设置于镜片底座上端的反光镜，镜片底座侧面设有多根连接杆，连接杆远离镜片底座的一端连接磁极球；与磁极球对应设有电磁铁组，电磁铁组包括线圈、磁极头、螺栓、支架；所述线圈通过螺栓安装于支架上，线圈内设置有磁极头，所述线圈连接电源；在线圈、磁极头和磁极球的作用下镜片底座处于悬浮状态。本实用新型采用电磁的方式让动镜漂浮在空间中，同时通过电流控制着反光镜的空间位置，较现有技术而言，不会因为使用频率和使用时间的增加而导致精度的损失。由于其核心零件只采用了电磁铁，所以加工制造非常简单容易。降低了生产设计和制造的技术门槛。术门槛。术门槛。


技术研发人员：王祥福 李家燕
受保护的技术使用者：云南赛莱福科技有限公司
技术研发日：2022.08.17
技术公布日：2023/1/6