技术编号:3289161
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种单晶铜键合线清洗装置,包括集液箱、固定架、清洗罐,其特征是集液箱为长方体有上盖,两个侧面上设有进线孔和出线孔,在出线孔一端的上方设有循环管入口,底部设有排液口,排液口与循环管相连通,集液箱装有清洗液。集液箱中央放置一个固定架,固定架上固定一个清洗罐。清洗罐的两端截面中央设有进线孔和出线孔,在进线孔一端的底面中部设有排水口,在出线孔的一端正上部设有进水口,并与循环管相连通。循环管中安装一个过滤器和一个微循环泵。本发明的有益效果是,能够把单晶铜键合线清洗得...
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