技术编号:3292652
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种退火处理装置,其包括壳体(1);冷却部(2)安装在所述壳体(1)的第一内壁上;石英管(3)的一端安装在所述冷却部(2)上,另一端安装在所述壳体(1)的与所述第一内壁相对的第二内壁上,且在该石英管(3)上的靠近冷却部(2)的位置设置有进气口(31),在该石英管(3)上的靠近第二内壁的位置设置有出气口(32);输送通道(4)从所述壳体(1)的第二内壁延伸至所述壳体(1)的第一内壁,并且从内部贯穿所述冷却部(2)和所述石英管(3);感应线圈(5)...
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