技术编号:3294714
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种,首先清洗非金属衬底的表面,然后将其放入管式CVD系统中的高温区部分;接着将炉温在15-30分钟内升高到600-1000℃之间,并该过程中通入空气,并在上述温度范围内维持20-60分钟,随后缓慢降低炉温,使其达到室温;然后将炉内空气排除干净;接着在以氢气和高纯氩气为载气的情况下,于40-120分钟的时间内将炉温升高到1050-1500℃之间,并将非金属衬底在该温度下保持10-30分钟;然后通入含碳、氮源的气体进行氮掺杂石墨烯的生长,并在该温度下维持30...
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