技术编号:3299145
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了一种用于OGS小片制程的镀膜夹具,包括多个小片基板夹具,所述小片基板夹具呈矩形,由四个边框首尾连接而成,所述边框与所述基板相邻一侧设置有卡槽,所述基板边缘固定在所述卡槽内。本发明的用于OGS小片制程的镀膜夹具,能快速对小片的基板进行快速整齐的装片,对多片基板同时镀膜,利于批量生产,提高了生产效率,此外,基板都可以很容易地被固定在传动台上,便于连续式的磁控溅射镀膜。专利说明—种用于OGS小片制程的镀膜夹具[0001]本发明涉及触摸屏镀膜装置,特别...
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