一种用于ogs小片制程的镀膜夹具的制作方法

文档序号:3299145阅读:211来源:国知局
一种用于ogs小片制程的镀膜夹具的制作方法
【专利摘要】本发明提供了一种用于OGS小片制程的镀膜夹具,包括多个小片基板夹具,所述小片基板夹具呈矩形,由四个边框首尾连接而成,所述边框与所述基板相邻一侧设置有卡槽,所述基板边缘固定在所述卡槽内。本发明的用于OGS小片制程的镀膜夹具,能快速对小片的基板进行快速整齐的装片,对多片基板同时镀膜,利于批量生产,提高了生产效率,此外,基板都可以很容易地被固定在传动台上,便于连续式的磁控溅射镀膜。
【专利说明】—种用于OGS小片制程的镀膜夹具
【技术领域】
[0001]本发明涉及触摸屏镀膜装置【技术领域】,特别涉及一种用于OGS小片制程的镀膜夹具。
【背景技术】
[0002]现有触摸屏OGS (One glass solution单片玻璃方案)制程工艺中ITO (Indiumtin oxide氧化铟锡)镀膜线大片制程(sheet type)时,固定基板的夹具采用的是条状卡槽式的大片基板夹具。此夹具主要用于大片制程,不能满足小片制程(Piece type)的夹具需要。

【发明内容】

[0003]本发明提出一种用于OGS小片制程的镀膜夹具,能快速对小片的基板进行快速整齐的装片,对多片基板同时镀膜。本发明所采用的技术方案具体是这样实现的:
本发明提供了一种用于OGS小片制程的镀膜夹具,包括多个小片基板夹具,所述小片基板夹具呈矩形,由四个边框首尾连接而成,所述边框与所述基板相邻一侧设置有卡槽,所述基板边缘固定在所述卡槽内。
[0004]优选地,所述小片基板夹具呈正方形。
[0005]本发明的用于OGS小`片制程的镀膜夹具,能快速对小片的基板进行快速整齐的装片,对多片基板同时镀膜,利于批量生产,提高了生产效率,此外,基板都可以很容易地被固定在传动台上,便于连续式的磁控溅射镀膜。
【专利附图】

【附图说明】
[0006]图1是本发明具体实施例的用于OGS小片制程的镀膜夹具的结构示意图。
【具体实施方式】
[0007]为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本发明的【具体实施方式】做详细的说明,使本发明的上述及其它目的、特征和优势将更加清晰。在全部附图中相同的附图标记指示相同的部分。并未刻意按比例绘制附图,重点在于示出本发明的主旨。
[0008]图1是本发明具体实施例的用于OGS小片制程的镀膜夹具的结构图,如图1所示,本发明具体实施例的用于OGS小片制程的镀膜夹具其包括:多个小片基板夹具10,小片基板夹具10呈矩形,由四个边框11首尾连接而成,边框11与基板20相邻一侧设置有卡槽,基板30边缘固定在卡槽内。
[0009]本发明中,小片基板夹具10呈正方形。。
[0010]本发明的用于OGS小片制程的镀膜夹具,将使得可以一次性对多个小片基板进行镀膜;基板之间被有效隔离,防止了基板之间可能发生的擦撞与交叠;用于OGS小片制程的镀膜夹具可以采用机械手臂或者人工进行快速的装片,有利于批量生产,提高了生产效率;此外,基板都可以很容易地被固定在传动台上,便于连续式的磁控溅射镀膜。
[0011]在以上的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是以上描述仅是本发明的较佳实施例而已,本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施,因此本发明不受上面公开的具体实施的限制。同时任何熟悉本领域技术人员在不脱离本发明技术方案范围情况下,都可利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰,或修 改为等同变化的等效实施例。凡是未脱离本发明技术方案的内容,依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰,均仍属于本发明技术方案保护的范围内。
【权利要求】
1.一种用于OGS小片制程的镀膜夹具,其特征在于,包括多个小片基板夹具,所述小片基板夹具呈矩形,由四个边框首尾连接而成,所述边框与所述基板相邻一侧设置有卡槽,所述基板边缘固定在所述卡槽内。
2.根据权利要求1所述的用于OGS小片制程的镀膜夹具,其特征在于,所述小片基板夹具呈正方形。`
【文档编号】C23C14/35GK103710676SQ201310734248
【公开日】2014年4月9日 申请日期:2013年12月27日 优先权日:2013年12月27日
【发明者】王进东 申请人:江苏宇天港玻新材料有限公司
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