技术编号:3299981
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及薄膜形成,尤其涉及一种蒸镀装置,包括至少一个第一线蒸发单元、至少一个第二线蒸发单元、第一面蒸发箱和第二面蒸发箱;第一面蒸发箱和第二面蒸发箱分别设置有开槽,第一线蒸发单元设置在第一面蒸发箱的开槽内,第二线蒸发单元设置在第二面蒸发箱的开槽内;第一面蒸发箱和第二面蒸发箱错层设置,以使设置于第一面蒸发箱中的第一线蒸发单元和设置于第二面蒸发箱中的第二线蒸发单元不位于同一平面。本发明提供蒸镀装置,提高了沉积材料形成的薄膜轮廓的交叠率,进而提升了形成薄膜的品质...
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