技术编号:3302796
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。根据不同的实施方式提供一种涂层装置(100),其具有处理室(202),其具有处理室内的载体(102);第一元件(104),其布置在处理室(202)内的至少一个载体(102)上方;和在载体(102)和第一元件(104)之间的固定结构(106),其中第一元件(104)借助于固定装置(106)以与载体(102)有间距地布置,和其中第一元件(104)具有多个槽(104h)和/或孔(104h)。专利说明涂层装置[0001 ] 本实用新型涉及一种涂层装置。背景技术[0...
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