技术编号:3303558
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种电化铝坩埚蒸镀装置。它包括内部的坩埚(1)和外部的玻璃丝布(4),所述坩埚(1)与玻璃丝布(4)之间从内而外依次设置有保护碳毡(2)和瓷外锅(3),所述玻璃丝布(4)外侧设置有感应线圈(5)。本实用新型一种电化铝坩埚蒸镀装置,此装置可适用于金属如铝、铜、金、银和锡的镀覆,以及非金属如硫化砷和氧化硅的镀覆,适用范围广;跟电极加热镀覆相比,由于蒸发在坩埚内进行,溶解充分,因此镀覆过程中不会产生跳点和溅点,从而保证了镀覆的质量;此装置镀覆的蒸镀...
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