电化铝坩埚蒸镀装置制造方法

文档序号:3303558阅读:334来源:国知局
电化铝坩埚蒸镀装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种电化铝坩埚蒸镀装置。它包括内部的坩埚(1)和外部的玻璃丝布(4),所述坩埚(1)与玻璃丝布(4)之间从内而外依次设置有保护碳毡(2)和瓷外锅(3),所述玻璃丝布(4)外侧设置有感应线圈(5)。本实用新型一种电化铝坩埚蒸镀装置,此装置可适用于金属如铝、铜、金、银和锡的镀覆,以及非金属如硫化砷和氧化硅的镀覆,适用范围广;跟电极加热镀覆相比,由于蒸发在坩埚内进行,溶解充分,因此镀覆过程中不会产生跳点和溅点,从而保证了镀覆的质量;此装置镀覆的蒸镀层较厚,金属感强,稳定性好。
【专利说明】电化铝坩埚蒸镀装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及蒸镀装置,尤其涉及一种用于电化铝的坩埚蒸镀装置,属于镀覆【技术领域】。
【背景技术】
[0002]在真空环境中,将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀,或叫真空镀膜。蒸镀是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华,使之附着在在工件或基片表面的过程。
[0003]现有的用于电化铝的蒸镀装置是利用电极加热氮化硼,然后送丝至氮化硼上使其熔化,最后进行镀覆,采用此装置存在以下不足:①用电极加热时,蒸发基材熔化后变软,挺度不够,故在送丝过程中会被送丝管卡住,此时需停机重新处理,造成损耗,进而影响生产效率此装置只能用于镀铝,适用范围小;③此装置蒸镀的镀层较薄(仅为450埃左右),且金属感较差;④在镀覆过程中,经常有跳点和溅点出现,会形成空洞,影响镀覆质量。

【发明内容】

[0004]本实用新型的目的在于克服上述不足,提供了一种电化铝坩埚蒸镀装置,此装置镀覆质量好,可蒸镀基材的种类多,同时蒸镀层厚,金属感强,稳定性好。
[0005]本实用新型的目的是这样实现的:
[0006]一种电化铝坩埚蒸镀装置,其特点是:所述装置包括内部的坩埚和外部的玻璃丝布,所述坩埚与玻璃丝布之间从内而外依次设置有保护碳毡和瓷外锅,所述玻璃丝布外侧设置有感应线圈。
[0007]与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
[0008]①本实用新型一种电化铝坩埚蒸镀装置,此装置可适用于金属如铝、铜、金、银和锡的镀覆,以及非金属如硫化砷和氧化硅的镀覆,适用范围广;②跟电极加热镀覆相比,由于蒸发在坩埚内进行,溶解充分,因此镀覆过程中不会产生跳点和溅点,从而保证了镀覆的质量;③此装置镀覆的蒸镀层较厚,金属感强,稳定性好;④此坩埚蒸镀装置制得的镀层打破了传统电化铝的常规铝层,使原先色泽单一、图案简单的电化铝包装形象脱胎换骨,取而代之可使其呈现不同颜色且富有金属质感及色泽,足以提升产品档次,实现电化铝产品的多样性。
【专利附图】

【附图说明】
[0009]图I为本实用新型一种电化铝坩埚蒸镀装置的结构示意图。
[0010]图2为现有的电极加热蒸镀装置结构示意图。
[0011]图中:
[0012]坩埚1,
[0013]保护碳毡2,
[0014]瓷外锅3,[0015]玻璃丝布4,
[0016]感应线圈5。
【具体实施方式】
[0017]参见图1,本实用新型涉及一种电化铝坩埚蒸镀装置,它包括内部的坩埚I和外部的玻璃丝布4,所述坩埚I与玻璃丝布4之间从内而外依次设置有保护碳毡2和瓷外锅3,所述玻璃丝布4外侧设置有感应线圈5。
[0018]工作原理:于所述坩埚I内放置蒸镀基材,在感应线圈5的作用下,蒸镀基材在5000C?2500°C熔化蒸发,然后在真空度为7*10_2Pa进行镀覆,采用此结构的蒸镀装置可适用于金属如铝、铜、金、银和锡的镀覆,以及非金属如硫化砷和氧化硅的镀覆;跟电极加热镀覆相比,由于蒸发在坩埚内进行,溶解充分,因此镀覆过程中不会产生跳点和溅点,从而保证了镀覆的质量;此装置镀覆的蒸镀层较厚,金属感强,稳定性好;此坩埚蒸镀装置制得的镀层打破了传统电化铝的常规铝层,使原先色泽单一、图案简单的电化铝包装形象脱胎换骨,取而代之可使其呈现不同颜色且富有金属质感及色泽,足以提升产品档次,实现电化铝产品的多样性。
【权利要求】
1.一种电化铝坩埚蒸镀装置,其特征在于:所述装置包括内部的坩埚(I)和外部的玻璃丝布(4),所述坩埚(I)与玻璃丝布(4)之间从内而外依次设置有保护碳毡(2)和瓷外锅(3),所述玻璃丝布(4)外侧设置有感应线圈(5)。
【文档编号】C23C14/26GK203530418SQ201320616153
【公开日】2014年4月9日 申请日期:2013年10月8日 优先权日:2013年10月8日
【发明者】何松武, 钱耕建 申请人:江阴新光镭射包装材料有限公司
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