一种线性蒸发源以及蒸镀设备的制作方法
【专利摘要】本实用新型揭示一种线性蒸发源以及蒸镀设备。所述线性蒸发源包括：固定块；坩锅，所述坩锅固定于所述固定块之间，其内部装有有机材料，对待加工基板进行镀膜；坩锅断热块，所述坩锅断热块位于所述坩锅的两侧；侧盖板，所述侧盖板位于所述坩锅断热块的外侧；其特征在于，所述坩锅断热块上设有至少一个导向栓，所述坩锅的侧面设有与所述导向栓数量相同且位置对应的钻孔，运行时，每根所述导向栓均插入相对应的所述钻孔内，所述侧盖板装于所述线性蒸发源的最外侧。
【专利说明】一种线性蒸发源以及蒸镀设备
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种真空热蒸发装置，且特别涉及一种线性蒸发源以及蒸镀设备。
【背景技术】
[0002]近年来,使用有机电致发光(Electro Luminescence:以下称“有机EL”)组件的有机EL显示装置，已取代CRT及LCD的显示装置而受到嘱目，正研究开发一种具备例如用以驱动该有机EL组件的薄膜晶体管(Thin Film Transistor:以下称“TFT”)的有机EL显
示装置。
[0003]有机EL组件被依序层积形成:由IT0(Indium Tin Oxide氧化铟锡)等的透明电极所形成的阳极；由MTDATA(4，4-双(3-甲基苯基苯氨基)联苯)等第I空穴输送层、TPD (4，4，4-三(3-甲基苯基苯氨基)三苯胺)等第2空穴输送层所构成的空穴输送层；包含唳酮(Quinacridone)衍生物的Bebq2 (10-苯弁[h]轻基喹啉-铍络合物(10_benzo[h]quinolinol-beryllium complex))所形成的发光层；由Bebq2所形成的电子输送层；及由铝合金所形成的阴极的构造。
[0004]如上所述的有机EL组件通过用以驱动该有机EL组件的驱动用TFT供给电流而发光。即，从阳极所注入的空穴与从阴极所注入的电子在发光层内部再结合，激发用以形成发光层的有机分子而产生激发子(exdton)。在该激发子放射失活的过程中由发光层发光，该光会从透明的阳极经由透明的阳极及玻璃基板等绝缘性基板放出至外部而进行发光。
[0005]上述有机EL组件的各层中，用于形成空穴输送层、发光层、电子输送层的有机材料具有耐溶剂性低、不耐水分的特性。因此无法利用半导体工艺的光刻技术。目前，一般都是通过使用蒸镀法，使上述有机材料选择性蒸镀在具备驱动用TFT的绝缘性基板上，以形成有机EL组件的空穴输送层、发光层、电子输送层及阴极的图案。
[0006]蒸镀法是一种属于物理气相沉积的真空镀膜技术。它是将蒸镀的材料置于一个坩锅之中，通过对坩锅加热，使材料从固态转化为气态的原子、原子团或分子，然后凝聚到待镀膜的基板表面形成薄膜。该技术广泛应用于太阳能电池、半导体晶片、平板显示、光学镜片等领域。
[0007]对蒸镀机而言，有机材料的充填是十分重要的一个环节，对于由人员来执行的有机材料装填动作势必要做到严格控管，目前的控管机制及其存在的缺点为:
[0008]1、将条形码安装于坩锅盒上，坩锅上机前读取坩锅盒上条形码，于CM端确认坩锅来源正确性；
[0009]缺点:条形码安装位置为坩锅盒上，非坩锅本体。由于目前的坩锅仅分为两类，而同类型的坩锅外形尺寸皆相同，若放错仍能正常安装上机，坩锅上机管控机制将会失效，使有机材料错误地装填，进而导致产品报废。
[0010]2、将条形码安装于坩锅上，坩锅上机并由机台上读码机读取条形码，于CIM端确认坩锅正确性；[0011]缺点:机台上无适当位置安装读码机，目前无法使用此方法控管。
实用新型内容
[0012]针对现有技术中的缺陷，本实用新型的目的是提供一种线性蒸发源以及蒸镀设备。
[0013]根据本实用新型的一个方面提供一种线性蒸发源，包括:固定块；坩锅，所述坩锅固定于所述固定块之间，其内部装有有机材料，对待加工基板进行镀膜；坩锅断热块，所述坩锅断热块位于所述坩锅的两侧；侧盖板，所述侧盖板位于所述坩锅断热块的外侧；其特征在于，所述坩锅断热块上设有至少一个导向栓，所述坩锅的侧面设有与所述导向栓数量相同且位置对应的钻孔，运行时，每根所述导向栓均插入相对应的所述钻孔内，所述侧盖板装于所述线性蒸发源的最外侧。
[0014]优选地，两侧的所述坩锅断热块上各设有至少一个导向栓，且两侧的所述坩锅断热块上设置的导向栓的数量相同。
[0015]优选地，两侧的所述坩锅断热块上设置的导向栓的位置沿所述坩锅的中心线左右对称。
[0016]优选地，两侧的所述坩锅断热块上各设有一个导向栓，相应地，所述坩锅上与所述坩锅断热块对应地设有一钻孔。
[0017]优选地，两侧的所述坩锅断热块上各设有两个导向栓，两个所述导向栓上下设置，相应地，所述坩锅上与所述坩锅断热块上两个所述导向栓对应地设有两个钻孔。
[0018]优选地，每一侧的两个所述导向栓之间的距离为2mm。
[0019]优选地，每一侧的两个所述导向栓之间的距离为6mm。
[0020]优选地，两侧的所述坩锅断热块上各设有三个导向栓，三个导向栓上下设置，相应地，所述坩锅上与所述坩锅断热块上的三个所述导向栓对应地设有三个钻孔。
[0021]优选地，每一侧的两个相邻的所述导向栓之间的距离均为2mm。
[0022]优选地，两侧的所述坩锅断热块上设置的导向栓的位置不沿所述坩锅的中心线左右对称。
[0023]优选地，两侧的所述坩锅断热块上各设有两个导向栓，相应地，所述坩锅上与所述坩锅断热块上对应地设有两个钻孔，其中，一侧的两个所述导向栓之间的距离为2mm，另一侧的两个导向栓之间的距离为6mm。
[0024]优选地，两侧的所述坩锅断热块上设置的导向栓的数量不相同。
[0025]优选地，一侧的所述坩锅断热块上设置一个导向栓，另一侧的所述坩锅断热块上设置两个导向栓。
[0026]优选地，一侧的所述坩锅断热块上设置两个导向栓，另一侧的所述坩锅断热块上
设置三个导向栓。
[0027]优选地，其特征在于，每个与所述钻孔相对所述导向栓的纵截面的形状为圆形、矩形、正方形、三角形、椭圆形或梯形中的任一种，相应地，每个所述钻孔的纵截面形状与每个对应的所述导向栓的纵截面形状相同。
[0028]优选地，每个与所述钻孔相对的所述导向栓的纵截面的形状均相同。
[0029]优选地，每个所述导向栓的长度相同。[0030] 优选地，每个所述导向栓的长度为4mm，其深入所述坩锅断热块部分的长度为1mm，所述钻孔的深度为3mm。
[0031 ] 优选地，每个与所述钻孔相对所述导向栓的纵截面的面积都相同。
[0032]根据本实用新型的另一个方面提供一种蒸镀设备，其包括:腔体；镀膜伞架，所述镀膜伞架位于所述腔体的顶部，固定待镀膜的基板；其特征在于，还包括:线性蒸发源，所述线性蒸发源位于所述镀膜伞架的下方，其装有有机材料，对待镀膜基板进行加工。
[0033]本实用新型通过提供一种线性蒸发源以及蒸镀设备，其利用蒸镀机现有线性蒸发源的设计，在坩锅与坩锅断热块间加装导向栓，达到坩锅与线性蒸发源关连性的控管，其具有如下优点:
[0034]1、直接在机台端做控管，防止因人员疏忽所造成的产品损失；
[0035]2、避免材料混用造成污染；
[0036]3、补强现行有机材料上机控管流程的漏洞。
【专利附图】
【附图说明】
[0037]通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
[0038]图1示出根据本实用新型的第一实施例的线性蒸发源的纵截面结构示意图；
[0039]图2示出根据本实用新型的第一实施例的线性蒸发源的右侧的坩锅断热块与坩锅的纵截面结构示意图；
[0040]图3示出根据本实用新型的第一实施例的线性蒸发源的右侧的导向栓插入钻孔后的坩锅断热块与坩锅的纵截面结构示意图；
[0041]图4示出根据本实用新型的第二实施例的线性蒸发源的右侧的导向栓插入钻孔后的坩锅断热块与坩锅的纵截面结构示意图；
[0042]图5示出根据本实用新型的第一实施例的坩锅与第二实施例的坩锅断热块互相配合使用时的纵截面结构示意图；
[0043]图6示出根据本实用新型的第三实施例的线性蒸发源的纵截面结构示意图；以及
[0044]图7示出根据本实用新型的第四实施例的线性蒸发源的右侧的坩锅断热块与坩锅的纵截面结构示意图。
【具体实施方式】
[0045]下面结合附图和实施例对本实用新型的技术内容进行进一步地说明:
[0046]图1示出了根据本实用新型的第一实施例的线性蒸发源的纵截面结构示意图。如图1所示，所述线性蒸发源包括:固定块100、坩锅200、坩锅断热块300、侧盖板400。具体地，其中，坩锅200固定于两块固定块100之间，其内部装有有机材料，对待加工基板进行镀膜。坩锅断热块300位于坩锅200的两侧。侧盖板400位于坩锅断热块300的外侧。
[0047]进一步地，坩锅断热块300上设有至少一个导向栓310，坩锅200的侧面设有与导向栓310数量相同且位置对应的钻孔210，当所述线性蒸发源运行时，每根导向栓310均插入相对应的钻孔210内，侧盖板400装于所述线性蒸发源的最外侧。
[0048]更进一步地，在图1所示的优选例中，两侧的坩锅断热块300上设置的导向栓310的数量相同，其各设有两个导向栓310，其中，两个导向栓310为上下设置。相应地，坩锅200上与坩锅断热块300上对应地设有两个钻孔210。并且位于坩锅200两侧的坩锅断热块300上设置的导向栓310的位置沿坩锅200的中心线左右对称。当所述现行蒸发源运行时，每个导向栓310均位于对应的钻孔210内。
[0049]图2示出了根据本实用新型的第一实施例的线性蒸发源的右侧的坩锅断热块与坩锅的纵截面结构示意图。具体地，位于坩锅200右侧的坩锅断热块300上设有两个导向栓310，相应地，与两个导向栓310相对应的坩锅200的侧面设有两个钻孔210。
[0050]更具体地，如图2所示，优选地，每个与所述钻孔相对导向栓310 (即朝向坩锅200方向)的纵截面的形状为圆形(图中未示出)，相应地，每个钻孔210的纵截面也为圆形。而在一些变化例中，导向栓310的形状是可以不同的。例如在一个变化例中，每个导向栓310的纵截面可以是正方形，相应地，每个钻孔210的纵截面也为正方形。又例如在另一个变化例中，每根导向栓310的纵截面形状也可以是矩形，相应地，每个钻孔210的纵截面也为矩形。在又一个变化例中，每根导向栓310的纵截面形状也可以是三角形，相应地，每个钻孔210的纵截面也为三角形。类似地，在一些其他的变化例中，每根导向栓310还可以是椭圆形或梯形等其他形状，相应地，每个钻孔210的纵截面形状与每个对应的导向栓310的纵截面形状相同。本领域技术人员理解，这些变化例均可以予以实现，此处不予赘述。
[0051]更具体地，在图2所示的优选例中，每根导向栓310的长度相同。优选地，每根导向栓310的长度均为4mm，其中，导向栓310伸入坩锅断热块300的部分长度为1mm。相应地，坩锅200的侧面上的钻孔210的深度为3mm。
[0052]更具体地，如图2所示，优选地，上下两根导向栓310之间的距离为2mm，相应地，坩锅200上的两个钻孔210之间的距离也为2mm。
[0053]图3示出了根据本实用新型的第一实施例的线性蒸发源的右侧的导向栓插入钻孔后的坩锅断热块与坩锅的纵截面结构示意图。具体地，所述线性蒸发源包括坩锅200、坩锅断热块300以及侧盖板400，相应地位置以及连接关系已在上文中说明。如图3所示，当所述线性蒸发源运行时，两个导向栓310均插于钻孔210内。通过坩锅200上的钻孔210与坩锅断热块上的导向栓310的位置相对应，以此使坩锅与所述线性蒸发源互相匹配，避免发生坩锅误放，使有机材料错误装填的情况发生。
[0054]图4示出了根据本实用新型的第二实施例的线性蒸发源的右侧的导向栓插入钻孔后的坩锅断热块与坩锅的纵截面结构示意图。图4所示实施例可以理解为上述图3所示实施例的一个变化例。具体地，如图4所示，位于坩锅200’右侧的坩锅断热块300’上也设有两个导向栓310’。与上述图3不同的，在此实施例中，上下两个导向栓310’之间的距离为6mm,相应地甘锅200’上两个钻孔210’之间的距离也为6mm。
[0055]进一步地，根据图4所示实施例，本领域技术人员理解，在一些变化例中，两个导向栓之间的距离是可以不同的，例如在一个变化例中，两个导向栓之间的距离可以是10mm，相应地，坩锅上两个钻孔之间的距离也为10mm。本领域技术人员理解，这些变化例均可以予以实现，此处不予赘述。
[0056]更进一步地，结合上述图3以及图4所示实施例，本领域技术人员理解，由于每个坩锅断热块上的导向栓的位置均与每个坩锅上的钻孔的位置相对应，因此每个坩锅断热块与每个坩锅也均是一一对应的，当导向栓位置与钻孔位置不对应的坩锅断热块与坩锅使用时，会出现侧盖板无法装上等问题。
[0057]因此为了更好地说明上述情况，图5示出了根据本实用新型的第一实施例的坩锅与第二实施例的坩锅断热块互相配合使用时的纵截面结构示意图。具体地，如图5所示，由于坩锅断热块300’上的两个导向栓310’之间的距离为6mm，而坩锅200上的两个钻孔210之间的距离为2mm，因此，当坩锅200与坩锅断热块300’互相配合使用时，位于上方的导向栓310’顶住了坩锅200的侧面，而并没有插入位于上方的钻孔210中，从而导致了侧盖板400无法盖上的问题，进而也无法进而作业，也避免了人员疏忽导致有机材料的混用从而造成产品的损失，此处不予赘述。
[0058]图6示出了根据本实用新型的第三实施例的线性蒸发源的纵截面结构示意图。图6可以理解为上述图1所示实施例的一个变化例。具体地，与上述图1不同的是，在图6所示的实施例中，位于坩锅200”两侧的坩锅断热块300”上各设有三个导向栓310”，三个导向栓310”为上下设置，相应地，坩锅200”上与坩锅断热块300”上导向栓310”对应地设有三个钻孔210”。更具体地，两侧的导向栓310”以及钻孔210”的位置均沿坩锅200”的中心线左右对称。其中，每一侧的两个相邻的导向栓310”之间的距离均为2mm。类似地，若仅设有两个钻孔的坩锅与设有三个导向栓的坩锅断热块进行匹配使用时，仍有至少一个导向栓会顶住坩锅的侧面，而无法使侧盖板装上，因此同样也能够避免发生有机材料的混用从而造成产品的损失的问题，此处不予赘述。
[0059]进一步地，根据图6所示实施例，本领域技术人员理解，在一些变化例中，三个导向栓之间的距离也是可以变化的，例如，在一个变化例中，一侧的坩锅断热块300 ”上位于下方的两个导向栓310”之间的距离可以是2mm，而位于最上方的导向栓310”与位于中间的导向栓310”之间的距离可以是6mm。又或者在另一个变化例中，一侧的坩锅断热块300”上位于上方的两个导向栓310”之间的距离可以是2mm，而位于最下方的导向栓310”与位于中间的导向栓310”之间的距离可以是6mm。这些变化例均可以予以实现，类似地，当不匹配的坩锅与坩锅断热块使用时，也会发生无法使侧盖板装上，因此同样也能够避免有机材料的混用从而造成产品的损失的问题，此处不予赘述。
[0060]更进一步地，本领域技术人员理解，在另一些变化例中，每侧的坩锅断热块上的导向栓的数量也是可以变化的，例如，在一个变化例中，每侧的坩锅断热块上可以仅设有一个导向栓，其可以仅根据一个导向栓位于坩锅断热块上的位置的变化来与坩锅上的钻孔进行匹配。又例如，在另一个变化例中，每侧的坩锅断热块上也可以设有四个导向栓，其通过四个导向栓位于坩锅断热块上的位置的变化来与坩锅上的钻孔进行匹配。又或者在另一些变化例中，坩锅断热块上的导向栓的数量可以更多。这些变化例均可予以实现，此处不予赘述。
[0061]图7示出了根据本实用新型的第四实施例的线性蒸发源的右侧的坩锅断热块与坩锅的纵截面结构示意图。图7可以理解为上述图3所示实施例的另一个变化例。具体地，如图7所示，与上述图3所示的实施例不同的是，位于右侧的坩锅断热块300”’上设有的两个导向栓310”’中，位于上方的导向栓310”’的长度大于位于下方的导向栓310”’的长度。相应地，坩锅200”’上位于上方的钻孔210”’的深度大于位于下方的钻孔210”’的深度。本领域技术人员理解，当钻孔深度与到导向栓长度不匹配的坩锅与坩锅断热块使用时，同样也会发生无法使侧盖板装上，因此同样也能够避免有机材料的混用从而造成产品的损失的问题，此处不予赘述。
[0062]进一步地，根据图7所述的实施例，本领域技术人员理解，在一个变化例中，位于下方的导向栓310”’的长度也可以大于位于上方的导向栓310”’的长度，该变化例同样也予以实现。更进一步地，在另一些变化例中，如一侧的坩锅断热块的数量大于两个时，每根导向栓的长度也可以是不同的。因此，当钻孔深度与到导向栓长度不匹配的坩锅与坩锅断热块使用时，同样也会发生无法使侧盖板装上，同样也能够避免有机材料的混用从而造成产品的损失的问题，此处不予赘述。
[0063]更进一步地，结合上述实施例，本领域技术人员理解，在另一些变化例中，坩锅断热块与坩锅之间也可以通过导向栓与钻孔的相对的纵截面面积的不同来进行匹配。例如在一个实施例中，一侧的?甘锅断热块上设有两个导向栓，位于上方的导向栓的纵截面面积大于位于下方的导向栓的纵截面面积，相应地，坩锅上位于上方的钻孔的纵截面面积大于位于下方的钻孔的纵截面面积。通过坩锅断热块与坩锅的纵截面面积来进行匹配，当钻孔纵截面面积与到导向栓的纵截面面积不匹配的坩锅与坩锅断热块使用时，同样也会发生导向栓无法插入对应的钻孔内，从而无法使侧盖板装上，同样也能够避免有机材料的混用从而造成产品的损失的问题，此处不予赘述。
[0064]更进一步地，结合上述图1至图7所示实施例，本领域技术人员理解，在上述实施例中，坩锅两侧的坩锅断热块上设置的导向栓以及坩锅上的钻孔都是沿坩锅的中心线左右对称的。而在一些变化例中，坩锅两侧的坩锅断热块上设置的导向栓的位置也可以是不对称的。例如位于左边的坩锅断热块上设置的导向栓的水平位置高于位于右边的坩锅断热块上设置的导向栓的水平位置。通过左右的导向栓的水平高度的不同以对坩锅断热块以及坩锅进行匹配，此处不予赘述。更进一步地，在另一些变化例中，坩锅两侧的坩锅断热块上的导向栓的数量也可以是不同的。例如，在一个变化例中，左侧的坩锅断热块上设置一个导向栓，右侧的坩锅断热块上设置两个导向栓。而在另一个变化例中，左侧的坩锅断热块上设置两个导向栓，右侧的坩锅断热块上设置三个导向栓。通过左右的导向栓的数量的不同以对坩锅断热块以及坩锅进行 匹配，此处不予赘述。
[0065]更为进一步地，综合上述图1至图7所示实施例，本领域技术人员理解，在上述实施例中，每个导向栓以及钻孔的相对的纵截面的形状都是相同的。而在一些变化例中，每根导向栓的纵截面形状也可以是不同的，相应地，每个与导向栓对应的钻孔的纵截面的形状也是不同的。例如当右侧坩锅断热块上设有两个导向栓时，位于上方的导向栓的纵截面可以是圆形的，与其对应的坩锅上位于上方的钻孔的纵截面的形状也是圆形的；而位于下方的导向栓的纵截面可以正方形的，与其对应的刚过上位于下方的钻孔的纵截面的形状也是正方形的。当导向栓纵截面形状与钻孔的纵截面的形状不同的导向栓同样不能插入钻孔中，从而达到对坩锅断热块以及坩锅进行匹配的目的，进而，避免有机材料的混用从而造成产品的损失的问题，此处不予赘述。
[0066]更为进一步地，综合上述图1至图7所示实施例，本领域技术人员理解，本实用新型还提供一种蒸镀设备，其包括:腔体、镀膜伞架以及上述线性蒸发源。其中，所述镀膜伞架位于所述腔体的顶部，固定待镀膜的基板。所述线性蒸发源位于所述镀膜伞架的下方，其装有有机材料，对待镀膜基板进行加工。
[0067]更为进一步地，本领域技术人员理解，本实用新型提供一种线性蒸发源以及蒸镀设备，其利用蒸镀机现有线性蒸发源的设计，在坩锅与坩锅断热块间加装导向栓，达到坩锅与线性蒸发源关连性的控管，其具有直接在机台端做控管，防止因人员疏忽所造成的产品损失；避免材料混用造成污染；补强现行有机材料上机控管流程的漏洞等优点。
[0068] 虽然本实用新型已以优选实施例揭示如上，然而其并非用以限定本实用新型。本实用新型所属【技术领域】的技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作各种的更动与修改。因此，本实用新型的保护范围当视权利要求书所界定的范围为准。
【权利要求】
1.一种线性蒸发源，包括:固定块；坩锅，所述坩锅固定于所述固定块之间，其内部装有有机材料，对待加工基板进行镀膜；坩锅断热块，所述坩锅断热块位于所述坩锅的两侧；侧盖板，所述侧盖板位于所述坩锅断热块的外侧；其特征在于，所述坩锅断热块上设有至少一个导向栓，所述坩锅的侧面设有与所述导向栓数量相同且位置对应的钻孔，运行时，每根所述导向栓均插入相对应的所述钻孔内，所述侧盖板装于所述线性蒸发源的最外侧。
2.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其特征在于，两侧的所述坩锅断热块上各设有至少一个导向栓，且两侧的所述坩锅断热块上设置的导向栓的数量相同。
3.根据权利要求2所述的线性蒸发源，其特征在于，两侧的所述坩锅断热块上设置的导向栓的位置沿所述坩锅的中心线左右对称。
4.根据权利要求3所述的线性蒸发源，其特征在于，两侧的所述坩锅断热块上各设有一个导向栓，相应地，所述坩锅上与所述坩锅断热块对应地设有一钻孔。
5.根据权利要求3所述的线性蒸发源，其特征在于，两侧的所述坩锅断热块上各设有两个导向栓，两个所述导向栓上下设置，相应地，所述坩锅上与所述坩锅断热块上两个所述导向栓对应地设有两个钻孔。
6.根据权利要求5所述的线性蒸发源，其特征在于，每一侧的两个所述导向栓之间的距离为2_。
7.根据权利要求5所述的线性蒸发源，其特征在于，每一侧的两个所述导向栓之间的距离为6_。
8.根据权利要求3所述的线性蒸发源，其特征在于，两侧的所述坩锅断热块上各设有三个导向栓，三个导向栓上下设置，相应地，所述坩锅上与所述坩锅断热块上的三个所述导向栓对应地设有三个钻孔。
9.根据权利要求8所述的线性蒸发源，其特征在于，每一侧的两个相邻的所述导向栓之间的距离均为2mm。
10.根据权利要求2所述的线性蒸发源，其特征在于，两侧的所述坩锅断热块上设置的导向栓的位置不沿所述坩锅的中心线左右对称。
11.根据权利要求10所述的线性蒸发源，其特征在于，两侧的所述坩锅断热块上各设有两个导向栓，相应地，所述坩锅上与所述坩锅断热块上对应地设有两个钻孔，其中，一侧的两个所述导向栓之间的距离为2mm，另一侧的两个导向栓之间的距离为6mm。
12.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其特征在于，两侧的所述坩锅断热块上设置的导向栓的数量不相同。
13.根据权利要求12所述的线性蒸发源，其特征在于，一侧的所述坩锅断热块上设置一个导向栓，另一侧的所述坩锅断热块上设置两个导向栓。
14.根据权利要求12所述的线性蒸发源，其特征在于，一侧的所述坩锅断热块上设置两个导向栓，另一侧的所述坩锅断热块上设置三个导向栓。
15.根据权利要求1至14中任一项所述的线性蒸发源，其特征在于，每个与所述钻孔相对所述导向栓的纵截面的形状为圆形、矩形、正方形、三角形、椭圆形或梯形中的任一种，相应地，每个所述钻孔的纵截面形状与每个对应的所述导向栓的纵截面形状相同。
16.根据权利要求15所述的线性蒸发源，其特征在于，每个与所述钻孔相对的所述导向栓的纵截面的形状均相同。
17.根据权利要求15所述的线性蒸发源，其特征在于，每个所述导向栓的长度相同。
18.根据权利要求17所述的线性蒸发源，其特征在于，每个所述导向栓的长度为4mm，其深入所述坩锅断热块部分的长度为1mm，所述钻孔的深度为3mm。
19.根据权利要求15所述的线性蒸发源，其特征在于，每个与所述钻孔相对所述导向栓的纵截面的面积都相同。
20.一种蒸镀设备，其包括: 腔体； 镀膜伞架，所述镀膜伞架位于所述腔体的顶部，固定待镀膜的基板； 其特征在于，还包括: 根据权利I至19中任一项所述的线性蒸发源，所述线性蒸发源位于所述镀膜伞架的下方，其装有有机材料，对待镀`膜基板进行加工。
【文档编号】C23C14/24GK203546136SQ201320636959
【公开日】2014年4月16日 申请日期:2013年10月15日 优先权日:2013年10月15日
【发明者】苏志玮, 王演隆 申请人:上海和辉光电有限公司