一种线性蒸发源的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种线性蒸发源，包括线性蒸发源的主体及设置于线性蒸发源的主体上方的盖板，所述主体一体成型，在所述主体内部两端对称开设有凹槽，所述凹槽内设有蒸发元件，所述两个凹槽之间位于主体下方设有加热元件；所述盖板上开设有一排通孔构成喷嘴，所述盖板与所述主体间螺纹连接。本实用新型的线性蒸发源不易变形，工作效率高，且可实现高均匀性厚膜。
【专利说明】一种线性蒸发源
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种真空热蒸发镀膜技术，具体涉及真空热蒸发镀膜技术中的一种线性蒸发源。
【背景技术】
[0002]真空热蒸发镀膜在有机EL (Electro Luminescence)显示器等平板显示器(FPD:Flat Panel Display)的制造过程中以及相应薄膜器件的产业化中被广泛的使用，其基本原理是利用加热的手段使源受热蒸发，由固相/液相变成气相，然后气体分子或原子在蒸发源与基板(衬底)之间输运，最后蒸发的分子或原子在基板(衬底)上沉积。
[0003]在有机发光显示装置中，发射可见光的有机发光层和接近有机发光层的有机层通过利用各种方法形成，尤其是真空热蒸发镀膜方法由于其简单的工艺而经常被使用。在真空热蒸发镀膜方法中，将粉状或固态的沉积材料填充到熔炉中，并通过对熔炉进行加热而在期望的区域上形成沉积膜。在真空热蒸发镀膜方法中，蒸发源是一种必不可少的设备，然而现有的蒸发源在使用中经常会出现以下问题:蒸发源长时间加热使用后容易变形，效率较低，并且镀膜的厚度不均匀。
[0004]中国专利ZL201220704968.9、ZL201020140696.5揭示了不同的线性蒸发源的结
构，但是由于线源结构的特殊性导致其应用的范围不广。
实用新型内容
[0005]本实用新型目的是提供一种不易变形，工作效率高，且可实现高均匀性厚膜的线性蒸发源。
[0006]本实用新型的技术方案是:一种线性蒸发源，用于大面积制造平板显示器和照明面板，包括线性蒸发源的主体及设置于线性蒸发源的主体上方的盖板，所述主体一体成型，在所述主体内部两端对称开设有凹槽，所述凹槽内设有蒸发元件构成蒸发单元，所述两个凹槽之间位于主体下方设有加热元件；所述盖板上开设有一排通孔构成喷嘴，所述盖板与所述主体间螺纹连接。
[0007]优选的，所述凹槽宽度为所述主体宽度的1/8-1/5。
[0008]优选的，所述凹槽为石英槽，其内设有蒸发元件构成蒸发单元。
[0009]优选的，所述加热元件为电热丝加热器，所述电热丝加热器与上方的主体抵触。
[0010]优选的，所述主体两端开设有螺孔，与所述螺孔对应在所述盖板上也开设有螺孔，与所述螺孔配合还设有螺栓，所述主体与盖板间经螺栓及螺孔连接构成所述的螺纹连接。
[0011]优选的，所述通孔孔径为0.5-5_，所述通孔长度占盖板长度的2/5_4/5，在所述通孔上方还设有挡板。
[0012]优选的，所述通孔下端与所述主体上端间的距离l-3cm。
[0013]优选的，所述主体及盖板外部设有保温板。
[0014]优选的，所述主体下方还设有水冷机构。[0015]本实用新型的有益效果是:通过将线性蒸发源的主体一体化成型，使主体不易变形，加热元件与其上方的主体接触，同时缩短主体与盖板上的通孔之间的距离，加热源置于两个材料腔室的中间位置，使蒸镀过程中保持喷嘴处于高温状态，防止被堵住，工作效率较高；盖板下部有台阶试的凹进，盖板四周用螺丝与主体紧密连接，防止材料从缝隙溢出，提高材料利用率，同时在盖板的通孔处可以设置挡板，实现高均匀性厚膜。同时在线源底部和两侧线源壁上装有水冷装置，保证蒸镀完成后迅速降温，以提高产品生产效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0016]下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述:
[0017]图1为本实用新型实施例一的结构示意图；
[0018]图2为本实用新型实施例一中主体的结构示意图；
[0019]图3为图2的俯视图；
[0020]图4为本实用新型实施例一中盖板的结构示意图；
[0021]图5为图4的俯视图；
[0022]图6为本实用新型实施例一的示意图。
[0023]其中:1、加热元件；2、凹槽；3、主体；4、螺孔；5、通孔；7、上端；8、保温板。
【具体实施方式】
[0024]实施例一:参见图1至3所示，一种线性蒸发源，包括线性蒸发源的主体3及设置于线性蒸发源的主体上方的盖板，所述主体一体成型，在所述主体内部两端对称开设有凹槽2，所述凹槽2内设有蒸发元件构成蒸发单元，所述两个凹槽2之间位于主体3下方设有加热元件I ;所述盖板上开设有一排通孔5构成喷嘴，所述盖板与所述主体间螺纹连接。
[0025]具体参见图2所示，凹槽2宽度为所述主体3宽度的1/8-1/5，所述加热元件I为电热丝加热器，所述电热丝加热器与上方的主体抵触；所述主体两端开设有螺孔4，与所述螺孔对应在所述盖板上也开设有螺孔，与所述螺孔配合还设有螺栓，所述主体与盖板间经螺栓及螺孔连接构成所述的螺纹连接。
[0026]具体参见图3所示，通孔5孔径为0.5_5mm，所述通孔长度占盖板长度的2/5_4/5，在所述通孔5上方还设有挡板；所述通孔5下端与所述主体3的上端7间的距离l-3cm。
[0027]在所述主体3及盖板外部设有保温板8，所述主体下方还设有水冷机构。
[0028]采用本实用新型中设计的线性蒸发源，进行膜厚均匀性测试。在300mmX 300mm的玻璃基板上纵向等间距位置上贴敷六个硅片进行膜厚测试。线性蒸发源大小按照玻璃尺寸设计，线源长400mm,盖板上端喷嘴长度为360mm,喷嘴中间位置放置长为120mm的挡板,遮住中间部位的喷嘴。线性蒸发源的蒸发单元内填充有机蒸发材料NPB，利用PID控温装置使加热丝加热到260度，进行蒸镀。测试结果如图4所示，测试均匀性为4%，已经很好地满足在大面积成膜制备的要求。
[0029]上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型主要技术方案的精神实质所做的等效变换或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种线性蒸发源，用于大面积制造平板显示器和照明面板，其特征在于:包括线性蒸发源的主体(3)及设置于线性蒸发源的主体上方的盖板，所述主体(3) —体成型；在所述主体(3)内部两端对称开设有凹槽(2)、所述凹槽内设有蒸发元件构成蒸发单元；所述两个凹槽(2)之间位于主体(3)下方设有加热元件(I);所述盖板上开设有一排通孔(5)构成喷嘴，所述盖板与所述主体间螺纹连接。
2.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源，其特征在于:所述凹槽(2)宽度为所述主体⑶宽度的1/8-1/5。
3.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源，其特征在于:所述凹槽为石英槽，其内设有蒸发元件构成蒸发单元。
4.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源，其特征在于:所述加热元件(I)为电热丝加热器，所述电热丝加热器与上方的主体抵触。
5.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源，其特征在于:所述主体(3)两端开设有螺孔(4)，与所述螺孔对应在所述盖板上也开设有螺孔，与所述螺孔配合还设有螺栓，所述主体与盖板间经螺栓及螺孔连接构成所述的螺纹连接。
6.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源，其特征在于:所述通孔(5)孔径为0.5-5_，所述通孔长度占盖板长度的2/5-4/5，在所述通孔上方还设有挡板。
7.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源，其特征在于:所述通孔下端与所述主体上端(7)间的距离l-3cm。
8.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源，其特征在于:所述主体(3)及盖板外部设有保温板⑶。
9.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源，其特征在于:所述主体下方还设有水冷机构。
【文档编号】C23C14/12GK203411600SQ201320357682
【公开日】2014年1月29日 申请日期:2013年6月21日 优先权日:2013年6月21日
【发明者】廖良生, 丁磊, 周旻, 陈敏, 周东营, 李杨帆 申请人:苏州方昇光电装备技术有限公司