技术编号:3308301
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。,使用其获得的用于溅射的靶材和垂 ...的制作方法本发明提供了和用于溅射的靶材,以及使用该合金的垂直磁记录介质。该合金是一种CrTi系合金,其具有按原子比计由(Cr,Mo,W)x(Ti,Ta,Zr)100-X,40≤X≤70表示的组成式;其中合金中的Cr元素被选自Mo和W中的一种或两种元素在以下Mo+W的范围内取代10原子%至X/2原子%;并且合金中的Ti元素被选自Ta和Zr中的一种或两种元素在Ta+Zr≤20原子%(包括0原子%)的范围内取代。专利说明,...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。