技术编号:3308326
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种借助于PVD涂覆工艺涂覆Al-Cr-O涂层的方法。借助于掺杂Si的含Al和Cr的靶进行PVD涂覆工艺。Si的掺杂防止反应性涂覆工艺过程中在靶上形成氧化物岛。专利说明具有增强涂层性能的电弧沉积A卜Cr-O涂层[0001] 本发明涉及三元铝铬氧化物涂层(Al-Cr-Ο),其可额外地含有Al-O相。该涂层根 据本发明由包含铝和铬的复合靶材沉积,优选,但不限于,通过反应性阴极电弧PVD技术。 根据本发明的涂层显示出增强的涂层性能,特别是关于耐腐蚀性,...
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