技术编号:3308709
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种烧结体溅射靶,该烧结体溅射靶包含组成包含以分子数比计35~55%的Pt、余量为Fe的合金,和分散在该合金中的非磁性物质,其特征在于,至少含有SiO2作为非磁性物质,SiO2为非晶质,并且从靶中含有的氧量扣除非磁性物质的构成成分的氧而得到的残留氧量为0.07重量%以下。本发明的课题在于提供抑制SiO2向方英石的结晶化、溅射时产生的粉粒量少、并且具有包含SiO2的非磁性物质分散在Fe-Pt基合金中的组织的烧结体溅射靶。专利说明非磁性物质分散型Fe-Pt基溅...
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