技术编号：33143578
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及集尘设备技术领域，特别是涉及一种原子层堆栈装置、集尘设备及其辅助拆装机构。背景技术.传统地，原子层堆栈装置包括集尘设备，例如在晶圆进行蚀刻生产反应过程中，通过集尘设备及时地将晶圆所处环境中粉尘去除，从而保证晶圆的生产质量。其中，集尘设备包括支架、装设于支架上的至少一个集尘器单体。集尘设备因为晶圆的生产工艺原因，需要定期地对集尘器单体进行清理维护，以保证晶圆的生产质量。然而，集尘器单体的重量通常至少为kg，清理维护作业时，需要个作业人员协同作业，采用手动搬抬方式，才能将集尘器...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。