原子层堆栈装置、集尘设备及其辅助拆装机构的制作方法

1.本技术涉及集尘设备技术领域，特别是涉及一种原子层堆栈装置、集尘设备及其辅助拆装机构。


背景技术：

2.传统地，原子层堆栈装置包括集尘设备，例如在晶圆进行蚀刻生产反应过程中，通过集尘设备及时地将晶圆所处环境中粉尘去除，从而保证晶圆的生产质量。其中，集尘设备包括支架、装设于支架上的至少一个集尘器单体。集尘设备因为晶圆的生产工艺原因，需要定期地对集尘器单体进行清理维护，以保证晶圆的生产质量。然而，集尘器单体的重量通常至少为15kg，清理维护作业时，需要3个作业人员协同作业，采用手动搬抬方式，才能将集尘器单体从支架上拆卸下来，以及将清理维护后的集尘器单体再安装到支架上，整个作业时长需要耗费2小时。如此可见，集尘设备的集尘器单体定期保养或更换时操作不方便，拆装保养耗费时间较长，以及耗费人力物力，维护成本较高，工作效率较低，安全性较低。


技术实现要素：

3.基于此，有必要克服现有技术的缺陷，提供一种原子层堆栈装置、集尘设备及其辅助拆装机构，它能够便于集尘设备的拆装维护作业，能提高工作效率，降低人力成本，安全性较高。
4.其技术方案如下：一种集尘设备的辅助拆装机构，所述集尘设备的辅助拆装机构包括：升降组件与第一支撑板，所述升降组件与所述第一支撑板相连，用于驱动所述第一支撑板升降动作；横向移动组件与第二支撑板，所述横向移动组件设置于所述第一支撑板上，所述横向移动组件与所述第二支撑板相连，用于驱动所述第二支撑板横向移动，所述第二支撑板上用于放置集尘器单体；夹持组件，所述夹持组件设置于所述第二支撑板上，所述夹持组件用于夹持固定所述第二支撑板上放置的所述集尘器单体。
5.在其中一个实施例中，所述升降组件包括底板与装设于所述底板上的升降机构；所述底板装设于集尘设备的支架上；所述升降机构与所述第一支撑板相连，用于驱动所述第一支撑板升降动作。
6.在其中一个实施例中，所述升降机构为液压缸、气缸、电缸、电机丝杆机构或电机带轮式驱动机构。
7.在其中一个实施例中，所述升降组件还包括控制模块；所述控制模块与所述升降机构电性连接；所述控制模块设置于所述底板上；所述控制模块设有脚踏式控制板、触摸式控制屏、控制按键或控制摇杆。
8.在其中一个实施例中，所述横向移动组件包括设置于所述第一支撑板上的横向导向组件与横向移动机构；所述第二支撑板设置于所述横向导向组件上；所述横向移动机构与所述第二支撑板相连，用于驱动所述第二支撑板横向移动。
9.在其中一个实施例中，所述横向导向组件包括设置于所述第一支撑板上的导向
轨，以及设置于所述导向轨上的至少一个滑块，所述第二支撑板与所述滑块相连。
10.在其中一个实施例中，所述导向轨上设置的所述滑块为两个，分别为第一滑块与第二滑块，所述第一滑块与所述第二滑块间隔设置；所述第一支撑板或所述第二支撑板上还设置有限位块，所述限位块位于所述第一滑块与所述第二滑块之间的间隔区域，并用于与所述第一滑块或所述第二滑块抵触限位。
11.在其中一个实施例中，所述横向导向组件为至少两个；至少两个所述横向导向组件间隔地设置于所述第一支撑板与所述第二支撑板之间。
12.在其中一个实施例中，所述夹持组件包括固定设置于所述第二支撑板上的固定块、滑动地设置于所述第二支撑板上的夹持块、以及与所述夹持块转动连接的调节螺杆；所述固定块上设有与所述调节螺杆相适应的螺纹通孔，所述调节螺杆设置于所述螺纹通孔中，所述夹持块用于紧密抵触放置于所述第二支撑板上的所述集尘器单体。
13.在其中一个实施例中，所述第二支撑板上设置有凹部，所述凹部用于插入所述集尘器单体的底部。
14.在其中一个实施例中，所述第二支撑板设有与所述凹部相连通的活动通道；所述活动通道由所述凹部的内壁延伸到所述第二支撑板的板缘部位，所述夹持块滑动地设置于所述活动通道内，所述固定块固定地设置于所述活动通道的内壁上。
15.在其中一个实施例中，所述活动通道的壁上设有沿着所述夹持块的移动方向延伸的活动槽，所述夹持块的壁上设有限位销，所述限位销活动地设置于活动槽内。
16.在其中一个实施例中，与所述凹部相连通的所述活动通道为两个以上，所述夹持组件为两个以上，两个以上所述夹持组件与两个以上所述活动通道一一对应设置。
17.在其中一个实施例中，所述凹部为两个，两个所述凹部间隔设置。
18.在其中一个实施例中，所述夹持块的夹持面为与所述集尘器单体的外壁相适应的弧形面；所述夹持块为弹性块或所述夹持块的夹持部位为弹性部。
19.一种集尘设备，所述集尘设备包括所述的集尘设备的辅助拆装机构，还包括支架与集尘器单体，所述集尘器单体与所述集尘设备的辅助拆装机构均设置于所述支架上。
20.一种原子层堆栈装置，所述原子层堆栈装置包括所述的集尘设备。
21.本技术实施例至少具有以下有益效果：
22.在定期维护集尘设备的集尘器单体时，先通过升降组件升降动作，升降组件能带动第二支撑板升起移动到集尘器单体底部正下方的位置，第二支撑板接触集尘器单体底部对集尘器单体起到承托作用；然后便可以将集尘器单体从支架上拆卸下来并直接放置到第二支撑板上，以及通过夹持组件夹持固定集尘器单体，避免集尘器单体晃动，使得集尘器单体稳固地放置于第二支撑板上；接着升降组件升降动作以及横向移动组件横向移动动作，升降组件能带动第二支撑板下降移动，横向移动组件能驱动第二支撑板横向移动，使得第二支撑板带动其上放置的集尘器单体降低高度位置并移动到支架的外部，便能在地面上展开对集尘器单体的清理维护作业。当集尘器单体清理维护完毕后或者需要更换集尘器单体时，集尘器单体放置于第二支撑板上，通过夹持组件固定，在集尘设备的辅助拆装机构的作用下，能便于装设到支架上。如此可见，相对于传统的采用多个作业人员手动进行拆装集尘器单体的方式，不仅可以大大减少作业人员，具体采用1名作业人员即可完成所有操作，能大大降低人力成本；此外，便于集尘器单体的拆装操作，整个维护作业时间可缩短到1小时，
工作效率大大提高，且安全性较高。
附图说明
23.构成本技术的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。
24.为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
25.图1为本技术一实施例的集尘设备的结构示意图；
26.图2为本技术一实施例的集尘设备的辅助拆装机构的其中一视角结构图；
27.图3为本技术一实施例的集尘设备的辅助拆装机构的另一视角结构图；
28.图4为图3的俯视结构示意图；
29.图5为图4在a-a处的剖视结构示意图；
30.图6为图4在b-b处的剖视结构示意图；
31.图7为图4隐藏掉第二支撑板与底板的结构示意图；
32.图8为本技术一实施例的集尘设备的辅助拆装机构的夹持组件的一视角结构图。
33.附图标记：
34.10、升降组件；11、底板；12、升降机构；13、控制模块；20、第一支撑板；21、限位块；30、横向移动组件；31、横向导向组件；311、导向轨；312、滑块；32、横向移动机构；40、第二支撑板；41、凹部；42、活动通道；421、活动槽；50、夹持组件；51、固定块；52、夹持块；521、限位销；522、弧形面；53、调节螺杆；60、集尘器单体；70、支架。
具体实施方式
35.为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
36.参阅图1至图3与图7，图1为本技术一实施例的集尘设备的结构示意图，图2与图3示出了本技术一实施例的集尘设备的辅助拆装机构的两个不同视角结构图，图7示出了图4隐藏掉第二支撑板40与底板11的结构示意图。本技术一实施例提供的一种集尘设备的辅助拆装机构，集尘设备的辅助拆装机构包括：升降组件10、第一支撑板20、横向移动组件30、第二支撑板40与夹持组件50。升降组件10与第一支撑板20相连，用于驱动第一支撑板20升降动作。横向移动组件30设置于第一支撑板20上，横向移动组件30与第二支撑板40相连，用于驱动第二支撑板40横向移动。第二支撑板40上用于放置集尘器单体60。夹持组件50设置于第二支撑板40上，夹持组件50用于夹持固定第二支撑板40上放置的集尘器单体60。
37.上述的集尘设备的辅助拆装机构，在定期维护集尘设备的集尘器单体60时，先通过升降组件10升降动作，升降组件10能带动第二支撑板40升起移动到集尘器单体60底部正下方的位置，第二支撑板40接触集尘器单体60底部对集尘器单体60起到承托作用；然后便
可以将集尘器单体60从支架70上拆卸下来并直接放置到第二支撑板40上，以及通过夹持组件50夹持固定集尘器单体60，避免集尘器单体60晃动，使得集尘器单体60稳固地放置于第二支撑板40上；接着升降组件10升降动作以及横向移动组件30横向移动动作，升降组件10能带动第二支撑板40下降移动，横向移动组件30能驱动第二支撑板40横向移动，使得第二支撑板40带动其上放置的集尘器单体60降低高度位置并移动到支架70的外部，便能在地面上展开对集尘器单体60的清理维护作业。当集尘器单体60清理维护完毕后或者需要更换集尘器单体60时，集尘器单体60放置于第二支撑板40上，通过夹持组件50固定，在集尘设备的辅助拆装机构的作用下，能便于装设到支架70上。如此可见，相对于传统的采用多个作业人员手动进行拆装集尘器单体60的方式，不仅可以大大减少作业人员，具体采用1名作业人员即可完成所有操作，能大大降低人力成本；此外，便于集尘器单体60的拆装操作，整个维护作业时间可缩短到1小时，工作效率大大提高，且安全性较高。
38.请参阅图1至图3，在一个实施例中，升降组件10包括底板11与装设于底板11上的升降机构12。底板11用于装设于集尘设备的支架70上。升降机构12用于与第一支撑板20相连，用于驱动第一支撑板20升降动作。具体而言，升降机构12为液压缸、气缸、电缸、电机丝杆机构或电机带轮式驱动机构。
39.作为一个可选的方案，升降组件10也可以不设置底板11，将升降机构12直接装设于支架70上，或者直接装设于地面上，并在使用时将升降机构12设于集尘器单体60的正下方区域即可。
40.请参阅图1至图3，在一个实施例中，升降组件10还包括控制模块13。控制模块13与升降机构12电性连接。控制模块13设置于底板11上。控制模块13设有脚踏式控制板、触摸式控制屏、控制按键或控制摇杆。如此，通过控制模块13可以控制升降机构12进行升降动作，操作较为方便。需要说明的是，控制模块13不限于装设于底板11上，还可以装设于其它位置，例如装设于支架70上，在此不进行限定，根据实际需求进行设置即可。
41.请参阅图1至图3，在一个实施例中，横向移动组件30包括设置于第一支撑板20上的横向导向组件31与横向移动机构32。第二支撑板40设置于横向导向组件31上。横向移动机构32与第二支撑板40相连，用于驱动第二支撑板40横向移动。如此，在横向导向组件31对第二支撑板40的横向导向作用下，横向移动机构32能够便于实现驱动第二支撑板40在横向方向上稳定地移动。类似于升降机构12，横向移动机构32例如可以是液压缸、气缸、电缸、电机丝杆机构或电机带轮式驱动机构，只要能提供动力来使得第二支撑板40移动即可，在此不进行限定具体动力形式。
42.请参阅图1至图3，在一个实施例中，横向导向组件31包括设置于第一支撑板20上的导向轨311，以及设置于导向轨311上的至少一个滑块312。第二支撑板40与滑块312相连。如此，滑块312沿着导向轨311滑动时，带动第二支撑板40横向移动。
43.需要说明的是，该“滑块312”可以为“第二支撑板40的一部分”，即“滑块312”与“第二支撑板40的其他部分”一体成型制造；也可以与“第二支撑板40的其他部分”可分离的一个独立的构件，即“滑块312”可以独立制造，再与“第二支撑板40的其他部分”组合成一个整体。
44.需要说明的是，该“导向轨311”可以为“第一支撑板20的一部分”，即“导向轨311”与“第一支撑板20的其他部分”一体成型制造；也可以与“第一支撑板20的其他部分”可分离
的一个独立的构件，即“导向轨311”可以独立制造，再与“第一支撑板20的其他部分”组合成一个整体。如图3或图5所示，一实施例中，“导向轨311”为“第一支撑板20”一体成型制造的一部分。
45.请参阅图2，在一个实施例中，导向轨311上设置的滑块312为两个，分别为第一滑块与第二滑块，第一滑块与第二滑块间隔设置。第一支撑板20或第二支撑板40上还设置有限位块21。限位块21位于第一滑块与第二滑块之间的间隔区域，并用于与第一滑块或第二滑块抵触限位。如此，在限位块21的限位作用下，第二支撑板40相对于第一支撑板20的横向移动控制在预设范围内，例如200mm以内。此外，限位块21也能避免第二支撑板40滑动脱离于第一支撑板20。
46.作为一个可选的方案，在第一支撑板20上设置有横向滑动槽，横向导向组件31设置于第二支撑板40上并能沿着横向滑动槽滑动。当然，也可以在第二支撑板40上设置横向滑动槽，横向导向组件31设置于第一支撑板20上并能沿着横向滑动槽滑动。
47.请参阅图1至图3，在一个实施例中，横向导向组件31为至少两个。至少两个横向导向组件31间隔地设置于第一支撑板20与第二支撑板40之间。如此，在至少两个横向导向组件31的导向作用下，第二支撑板40的移动效果较为稳定。需要说明的是，横向导向组件31的数量在此不进行限定，例如可以是一个、两个、三个、四个或其它数量。
48.请参阅图4至图6与图8，图4示出了图3的俯视结构示意图，图5示出了图4在a-a处的剖视结构示意图，图6示出了图4在b-b处的剖视结构示意图，图8示出了本技术一实施例的集尘设备的辅助拆装机构的夹持组件50的一视角结构图。在一个实施例中，夹持组件50包括固定设置于第二支撑板40上的固定块51、滑动地设置于第二支撑板40上的夹持块52、以及与夹持块52转动连接的调节螺杆53。固定块51上设有与调节螺杆53相适应的螺纹通孔(图中未示出)，调节螺杆53设置于螺纹通孔中，夹持块52用于紧密抵触放置于第二支撑板40上的集尘器单体60。具体而言，为了便于调整调节螺杆53转动，调节螺杆53的端部例如设置有内六角孔，或者设置手柄。如此，通过转动调节螺杆53来调整调节螺杆53的位置，调节螺杆53移动时带动夹持块52靠近或远离于集尘器单体60。当使得夹持块52紧密抵触于集尘器单体60的外壁时，便能实现使得集尘器单体60固定地放置于第二支撑板40上；当使得夹持块52远离于集尘器单体60的外壁时，即实现松开集尘器单体60。
49.请参阅图1与图4，在一个实施例中，第二支撑板40上设置有凹部41。凹部41用于插入集尘器单体60的底部。如此，集尘器单体60放置于凹部41中，能实现稳定地设置于第二支撑板40上。具体而言，凹部41与集尘器单体60的底部相适应，这样能较为稳定地装设集尘器单体60；当然，凹部41的开口口径大于集尘器单体60的底面直径即可，具体关系根据实际情况进行设置，在此不进行限定。
50.当然，作为一个可选的方案，第二支撑板40上若没有设置凹部41，通过夹持组件50的夹持块52抵触集尘器单体60的外壁，也是可以实现集尘器单体60固定放置于第二支撑板40上，在此不做具体限定，可以根据实际情况进行设置。
51.请参阅图4至图6，在一个实施例中，第二支撑板40设有与凹部41相连通的活动通道42。活动通道42由凹部41的内壁延伸到第二支撑板40的板缘部位，夹持块52滑动地设置于活动通道42内，固定块51固定地设置于活动通道42的内壁上。如此，将夹持组件50设置于第二支撑板40的活动通道42内部，相对设置于第二支撑板40的上表面而言，一方面能较为
稳固地固定住集尘器单体60的底部，另一方面，不会对集尘器单体60在第二支撑板40上表面上移动过程中造成干涉。
52.请参阅图4至图6，在一个实施例中，活动通道42的壁上设有沿着夹持块52的移动方向延伸的活动槽421，夹持块52的壁上设有限位销521，限位销521活动地设置于活动槽421内。如此，夹持块52在活动通道42内的移动调节范围将受到限位销521的限制。此外，限位销521沿着活动槽421移动，对夹持块52的移动起到一定程度的导向作用，能使得夹持块52的移动较为稳定，有利于稳定地夹持住集尘器单体60的外壁。另外，夹持块52的外壁与活动通道42的内壁相适应，具体而言，夹持块52可为方形块，活动通道42可为与夹持块52相适应的方形通道，这样夹持块52在活动通道42内的移动效果较为稳定。
53.请参阅图4至图6，在一个实施例中，凹部41为两个，两个凹部41间隔设置。如此，第二支撑板40上能装设两个集尘器单体60，能实现支架70上的两个集尘器单体60同步进行清理维护以及更换工作。需要说明的是，凹部41还可以是一个、三个或其它数量，在此不进行限定，根据实际需求进行设置即可。
54.请参阅图4至图6，在一个实施例中，夹持块52的夹持面为与集尘器单体60的外壁相适应的弧形面522。此外，夹持块52为弹性块或夹持块52的夹持部位为弹性部。如此，能实现较为稳定地夹持固定集尘器单体60。
55.请参阅图4至图6，在一个实施例中，与凹部41相连通的活动通道42为两个以上，夹持组件50为两个以上，两个以上夹持组件50与两个以上活动通道42一一对应设置。如此，通过两个以上夹持组件50能较为稳固地夹持固定住凹部41内的集尘器单体60。需要说明的是，与凹部41对应连通的活动通道42的数量例如为一个、两个、三个或其它数量，具体数量在此不进行限定，根据实际情况进行设置即可。
56.请再参阅图1至图3与图7，在一个实施例中，一种集尘设备，集尘设备包括上述任一实施例的集尘设备的辅助拆装机构，还包括支架70与集尘器单体60，集尘器单体60与集尘设备的辅助拆装机构均设置于支架70上。
57.上述的集尘设备，在定期维护集尘设备的集尘器单体60时，先通过升降组件10升降动作，升降组件10能带动第二支撑板40升起移动到集尘器单体60底部正下方的位置，第二支撑板40接触集尘器单体60底部对集尘器单体60起到承托作用；然后便可以将集尘器单体60从支架70上拆卸下来并直接放置到第二支撑板40上，以及通过夹持组件50夹持固定集尘器单体60，避免集尘器单体60晃动，使得集尘器单体60稳固地放置于第二支撑板40上；接着升降组件10升降动作以及横向移动组件30横向移动动作，升降组件10能带动第二支撑板40下降移动，横向移动组件30能驱动第二支撑板40横向移动，使得第二支撑板40带动其上放置的集尘器单体60降低高度位置并移动到支架70的外部，便能在地面上展开对集尘器单体60的清理维护作业。当集尘器单体60清理维护完毕后或者需要更换集尘器单体60时，集尘器单体60放置于第二支撑板40上，通过夹持组件50固定，在集尘设备的辅助拆装机构的作用下，能便于装设到支架70上。如此可见，相对于传统的采用多个作业人员手动进行拆装集尘器单体60的方式，不仅可以大大减少作业人员，具体采用1名作业人员即可完成所有操作，能大大降低人力成本；此外，便于集尘器单体60的拆装操作，整个维护作业时间可缩短到1小时，工作效率大大提高，且安全性较高。
58.请再参阅图1至图3与图7，在一个实施例中，一种原子层堆栈装置，原子层堆栈装
置包括上述任一实施例的集尘设备。
59.上述的原子层堆栈装置，在定期维护集尘设备的集尘器单体60时，先通过升降组件10升降动作，升降组件10能带动第二支撑板40升起移动到集尘器单体60底部正下方的位置，第二支撑板40接触集尘器单体60底部对集尘器单体60起到承托作用；然后便可以将集尘器单体60从支架70上拆卸下来并直接放置到第二支撑板40上，以及通过夹持组件50夹持固定集尘器单体60，避免集尘器单体60晃动，使得集尘器单体60稳固地放置于第二支撑板40上；接着升降组件10升降动作以及横向移动组件30横向移动动作，升降组件10能带动第二支撑板40下降移动，横向移动组件30能驱动第二支撑板40横向移动，使得第二支撑板40带动其上放置的集尘器单体60降低高度位置并移动到支架70的外部，便能在地面上展开对集尘器单体60的清理维护作业。当集尘器单体60清理维护完毕后或者需要更换集尘器单体60时，集尘器单体60放置于第二支撑板40上，通过夹持组件50固定，在集尘设备的辅助拆装机构的作用下，能便于装设到支架70上。如此可见，相对于传统的采用多个作业人员手动进行拆装集尘器单体60的方式，不仅可以大大减少作业人员，具体采用1名作业人员即可完成所有操作，能大大降低人力成本；此外，便于集尘器单体60的拆装操作，整个维护作业时间可缩短到1小时，工作效率大大提高，且安全性较高。
60.以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
61.以上实施例仅表达了本技术的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。因此，本技术专利的保护范围应以所附权利要求为准。
62.在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
63.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
64.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
65.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示
第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
66.需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。