技术特征：
1.一种集尘设备的辅助拆装机构，其特征在于，所述集尘设备的辅助拆装机构包括：升降组件与第一支撑板，所述升降组件与所述第一支撑板相连，用于驱动所述第一支撑板升降动作；横向移动组件与第二支撑板，所述横向移动组件设置于所述第一支撑板上，所述横向移动组件与所述第二支撑板相连，用于驱动所述第二支撑板横向移动，所述第二支撑板上用于放置集尘器单体；夹持组件，所述夹持组件设置于所述第二支撑板上，所述夹持组件用于夹持固定所述第二支撑板上放置的所述集尘器单体。2.根据权利要求1所述的集尘设备的辅助拆装机构，其特征在于，所述升降组件包括底板与装设于所述底板上的升降机构；所述底板装设于集尘设备的支架上；所述升降机构与所述第一支撑板相连，用于驱动所述第一支撑板升降动作。3.根据权利要求2所述的集尘设备的辅助拆装机构，其特征在于，所述升降机构为液压缸、气缸、电缸、电机丝杆机构或电机带轮式驱动机构。4.根据权利要求2所述的集尘设备的辅助拆装机构，其特征在于，所述升降组件还包括控制模块；所述控制模块与所述升降机构电性连接；所述控制模块设置于所述底板上；所述控制模块设有脚踏式控制板、触摸式控制屏、控制按键或控制摇杆。5.根据权利要求1所述的集尘设备的辅助拆装机构，其特征在于，所述横向移动组件包括设置于所述第一支撑板上的横向导向组件与横向移动机构；所述第二支撑板设置于所述横向导向组件上；所述横向移动机构与所述第二支撑板相连，用于驱动所述第二支撑板横向移动。6.根据权利要求5所述的集尘设备的辅助拆装机构，其特征在于，所述横向导向组件包括设置于所述第一支撑板上的导向轨，以及设置于所述导向轨上的至少一个滑块，所述第二支撑板与所述滑块相连。7.根据权利要求6所述的集尘设备的辅助拆装机构，其特征在于，所述导向轨上设置的所述滑块为两个，分别为第一滑块与第二滑块，所述第一滑块与所述第二滑块间隔设置；所述第一支撑板或所述第二支撑板上还设置有限位块，所述限位块位于所述第一滑块与所述第二滑块之间的间隔区域，并用于与所述第一滑块或所述第二滑块抵触限位。8.根据权利要求5所述的集尘设备的辅助拆装机构，其特征在于，所述横向导向组件为至少两个；至少两个所述横向导向组件间隔地设置于所述第一支撑板与所述第二支撑板之间。9.根据权利要求1所述的集尘设备的辅助拆装机构，其特征在于，所述夹持组件包括固定设置于所述第二支撑板上的固定块、滑动地设置于所述第二支撑板上的夹持块、以及与所述夹持块转动连接的调节螺杆；所述固定块上设有与所述调节螺杆相适应的螺纹通孔，所述调节螺杆设置于所述螺纹通孔中，所述夹持块用于紧密抵触放置于所述第二支撑板上的所述集尘器单体。10.根据权利要求9所述的集尘设备的辅助拆装机构，其特征在于，所述第二支撑板上设置有凹部，所述凹部用于插入所述集尘器单体的底部。11.根据权利要求10所述的集尘设备的辅助拆装机构，其特征在于，所述第二支撑板设有与所述凹部相连通的活动通道；所述活动通道由所述凹部的内壁延伸到所述第二支撑板
的板缘部位，所述夹持块滑动地设置于所述活动通道内，所述固定块固定地设置于所述活动通道的内壁上。12.根据权利要求11所述的集尘设备的辅助拆装机构，其特征在于，所述活动通道的壁上设有沿着所述夹持块的移动方向延伸的活动槽，所述夹持块的壁上设有限位销，所述限位销活动地设置于活动槽内。13.根据权利要求11所述的集尘设备的辅助拆装机构，其特征在于，与所述凹部相连通的所述活动通道为两个以上，所述夹持组件为两个以上，两个以上所述夹持组件与两个以上所述活动通道一一对应设置。14.根据权利要求10所述的集尘设备的辅助拆装机构，其特征在于，所述凹部为两个，两个所述凹部间隔设置。15.根据权利要求9所述的集尘设备的辅助拆装机构，其特征在于，所述夹持块的夹持面为与所述集尘器单体的外壁相适应的弧形面；所述夹持块为弹性块或所述夹持块的夹持部位为弹性部。16.一种集尘设备，其特征在于，所述集尘设备包括如权利要求1至15任意一项所述的集尘设备的辅助拆装机构，还包括支架与集尘器单体，所述集尘器单体与所述集尘设备的辅助拆装机构均设置于所述支架上。17.一种原子层堆栈装置，其特征在于，所述原子层堆栈装置包括如权利要求16所述的集尘设备。
技术总结
本申请涉及一种原子层堆栈装置、集尘设备及其辅助拆装机构，集尘设备的辅助拆装机构包括升降组件、第一支撑板、横向移动组件、第二支撑板与夹持组件，升降组件与第一支撑板相连，用于驱动第一支撑板升降动作；横向移动组件设置于第一支撑板上，横向移动组件与第二支撑板相连，用于驱动第二支撑板横向移动；第二支撑板上用于放置集尘器单体；夹持组件设置于第二支撑板上，夹持组件用于夹持固定第二支撑板上放置的集尘器单体。不仅可以大大减少作业人员，具体采用1名作业人员即可完成所有操作，能大大降低人力成本；此外，便于集尘器单体的拆装操作，整个维护作业时间可缩短到1小时，工作效率大大提高，且安全性较高。且安全性较高。且安全性较高。
技术研发人员：刘增华
受保护的技术使用者：长鑫存储技术有限公司
技术研发日：2021.07.28
技术公布日：2023/2/2