技术编号:3314783
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种基于管式炉的卷对卷气相沉积装置,包括管式加热炉、供气系统和真空泵组,管式加热炉包括炉体和设置在炉体内的反应腔体,还包括设置在反应腔体外侧且与反应腔体两端分别密封连接的第一密封仓和第二密封仓,第一密封仓内设置有第一传动装置,第二密封仓内设置有第二传动装置,供气系统与反应腔体、第一密封仓和第二密封仓三者中的一个连通,且真空泵组与三者中另外两个中的一个连通,第一密封仓和第二密封仓内均设置有用于冷却第一密封仓、第二密封仓和反应基体的水冷装置。本方案...
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