技术编号:3315909
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种新型磁控轴瓦溅镀机,涉及溅渡装置,包括溅渡壳体,溅渡壳体内设有溅渡腔,溅渡腔设有溅射靶支撑架和轴瓦支撑架,溅渡壳体底部设有底座,溅射靶支撑架和轴瓦支撑架设置在溅渡壳体底部底座上,溅射靶支撑架中间设有溅射靶架轴,溅射靶架轴底部设有旋转环,旋转环通过连接杆与溅射靶架轴一侧的溅射靶支撑架边缘连接,溅渡壳体最下方设有电机,旋转环与电机输出轴相连接,溅射靶架轴两侧的溅射靶支撑架各活动设有一块溅射靶,溅射靶的双面设有凹槽,正面凹槽的底面为镍靶、背面凹槽...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。