技术编号：3316608
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开一种蒸发源及蒸镀装置，蒸发源包括坩埚本体、腔室、蒸镀口和挡止部。坩埚本体包括相对的顶壁和底壁以及连接于所述顶壁和底壁的侧壁。腔室由所述顶壁、底壁和侧壁围绕构成。蒸镀口形成于所述底壁上。挡止部的底端连接于所述蒸镀口周缘，顶端延伸至所述腔室内，挡止部与侧壁围成的空间用于容置蒸镀材料。本发明蒸发源，在蒸镀工艺中能减少基板的弯曲变形，从而提高产品良率。专利说明蒸发源及蒸镀装置 [0001] 本发明涉及一种用于蒸镀工艺的蒸发源及蒸镀装置。 背景技术...
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