技术编号:33175384
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及氮化铝基片加工技术领域,具体为一种氮化铝基片表面抛光装置。背景技术.目前普遍使用氧化铝、氧化铍以及氮化硅、莫来石陶瓷基板已经满足不了g通信技术对高导热、高绝缘、以及抗高温腐蚀的需求,氮化铝陶瓷基板因其高导热性,无毒,优异的绝缘性能,原料来源广泛,工艺性好,以及耐高温腐蚀而成为g通信领域最理想高导热陶瓷基板。并且,氮化铝陶瓷基板内含有氮化铝基片。.经检索,现有技术中,中国专利申请号:cn.,公开了一种氮化铝陶瓷基板的高效抛光设备,涉及氮化铝陶瓷基...
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