技术编号:33193704
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本申请实施例涉及半导体技术领域,尤其涉及一种前开式晶圆传送盒(front opening unified pod,简称foup)内氧气含量的调节系统及方法。背景技术.随着人力成本的上升,以及生产的智能化、精细化程度的提高,自动物料搬送系统(automatic material handling system,amhs)已被广泛地应用在高端制造业中。.其中,foup是半导体制造过程中被用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器。当foup盛装的晶圆无法进入下一道生产工序时,自动化天车(overh...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。