前开式晶圆传送盒内氧气含量的调节系统及方法与流程

1.本技术实施例涉及半导体技术领域，尤其涉及一种前开式晶圆传送盒(front opening unified pod，简称foup)内氧气含量的调节系统及方法。


背景技术：

2.随着人力成本的上升，以及生产的智能化、精细化程度的提高，自动物料搬送系统(automatic material handling system，amhs)已被广泛地应用在高端制造业中。
3.其中，foup是半导体制造过程中被用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器。当foup盛装的晶圆无法进入下一道生产工序时，自动化天车(overhead hoist transfer，oht)会将foup放置在存储货架(overhead buffer，ohb)上暂存，直至下一道工序可以生产为止。考虑到硅片上生产制程生成的电路很容易被氧化，因此通常会在foup中充入氮气等惰性气体，以降低foup内部的氧气含量。
4.然而，在现有技术中，在foup放置在ohb上暂存时，便会以固定的流量在foup中充入惰性气体，直到下一道生产工序有足够的生产空间进行制程生产时才停止充入,期间无法保障foup内部的氧气含量低于安全值，因此foup内部的硅片仍然存在被氧化的风险；另外，长时间持续在foup中充入惰性气体，还会造成惰性气体的浪费，增加生产成本。


技术实现要素：

5.本技术实施例提供一种foup内氧气含量的调节系统及方法，可以解决现有技术中无法保障foup内部的氧气含量低于安全值、以及充入foup内部的惰性气体存在较大浪费的技术问题。
6.在一些实施例中，所提供的foup内氧气含量的调节系统包括充气组件、foup、控制器以及检测组件；
7.所述充气组件与所述foup的进气口连接，所述充气组件用于向所述foup内输入惰性气体；
8.所述检测组件与所述foup的排气口连接，所述检测组件用于检测所述foup内的气体的氧气含量；
9.所述充气组件、所述检测组件均与所述控制器连接，所述控制器用于根据所述检测组件检测到的氧气含量，调节所述充气组件向所述foup内输入的惰性气体的流量。
10.在一种可行的实施方式中，所述控制器具体用于：
11.获取所述检测组件检测到的氧气含量；
12.确定所述检测组件检测到的氧气含量所处的氧气含量区间；
13.根据所述检测组件检测到的氧气含量所处的氧气含量区间，确定所述充气组件向所述foup内输入的惰性气体的目标流量值；其中，不同的氧气含量区间对应不同的流量值；
14.调节所述充气组件向所述foup内输入的惰性气体的流量为所述目标流量值。
15.在一种可行的实施方式中，所述控制器具体用于：
16.获取所述检测组件检测到的氧气含量；
17.确定所述检测组件检测到的氧气含量是否大于预设氧气含量阈值；
18.当所述检测组件检测到的氧气含量大于所述预设氧气含量阈值时，调节所述充气组件向所述foup内输入的惰性气体的流量为预设固定流量值。
19.在一种可行的实施方式中，所述控制器具体还用于：
20.在调节所述充气组件向所述foup内输入的惰性气体的流量之后，监测所述检测组件检测到的氧气含量；
21.当所述检测组件检测到的氧气含量小于或等于预设氧气含量阈值时，控制所述充气组件停止向所述foup内输入惰性气体。
22.在一种可行的实施方式中，所述控制器具体还用于：
23.在控制所述充气组件停止向所述foup内输入惰性气体之后，每间隔预设时长，确定所述检测组件检测到的氧气含量是否大于所述预设氧气含量阈值；
24.若所述检测组件检测到的氧气含量大于所述预设氧气含量阈值，则根据所述检测组件检测到的氧气含量，控制所述充气组件向所述foup内输入惰性气体。
25.在一种可行的实施方式中，所述控制器具体还用于：
26.在控制所述充气组件停止向所述foup内输入惰性气体之后，实时监控所述检测组件检测到的氧气含量是否大于所述预设氧气含量阈值；
27.若所述检测组件检测到的氧气含量大于所述预设氧气含量阈值，则根据所述检测组件检测到的氧气含量，控制所述充气组件向所述foup内输入惰性气体。
28.在一种可行的实施方式中，还包括过滤器，所述过滤器位于所述充气组件与所述foup的进气口之间；
29.所述过滤器用于对所述充气组件输出的惰性气体进行过滤。
30.在一种可行的实施方式中，所述充气组件包括充气口与气体流量控制器，所述气体流量控制器位于所述充气口与所述foup的进气口之间；
31.所述充气口用于输出所述惰性气体，所述气体流量控制器用于根据所述控制器发送的调节指令，调节所述充气口向所述foup内输入的惰性气体的流量。
32.在一种可行的实施方式中，所述充气组件还包括进气阀门，所述进气阀门位于所述充气口与所述气体流量控制器之间。
33.在一种可行的实施方式中，所述检测组件包括真空产生器与氧浓度传感器，所述真空产生器位于所述foup的排气口与所述氧浓度传感器之间；
34.所述真空产生器用于抽出所述foup内的气体，并将抽出的所述foup内的气体输送至所述氧浓度传感器；
35.所述氧浓度传感器用于检测所述真空产生器输送的气体中的氧气含量。
36.在一种可行的实施方式中，所述检测组件包括真空产生器与氧浓度传感器，所述氧浓度传感器位于所述foup的排气口与所述真空产生器之间；
37.所述真空产生器用于抽出所述foup内的气体，所述氧浓度传感器用于检测所述foup内被抽出的气体中的氧气含量。
38.在一种可行的实施方式中，所述控制器还用于：
39.在控制所述充气组件停止向所述foup内输入惰性气体之后，控制所述真空产生器
停止工作。
40.在一种可行的实施方式中，还包括排气组件，所述检测组件位于所述foup的排气口与所述排气组件之间；所述排气组件包括排气阀门与排气管道。
41.在一些实施例中，所提供的foup内氧气含量的调节方法，应用于foup内氧气含量的调节系统，所述foup内氧气含量的调节系统包括充气组件、foup以及检测组件；所述充气组件与所述foup的进气口连接，所述充气组件用于向所述foup内输入惰性气体；所述检测组件与所述foup的排气口连接，所述检测组件用于检测所述foup内的气体的氧气含量；
42.所述方法包括：
43.获取所述检测组件检测到的氧气含量；
44.根据所述检测组件检测到的氧气含量，调节所述充气组件向所述foup内输入的惰性气体的流量。
45.在一种可行的实施方式中，所述根据所述检测组件检测到的氧气含量，调节所述充气组件向所述foup内输入的惰性气体的流量，包括：
46.确定所述检测组件检测到的氧气含量所处的氧气含量区间；
47.根据所述检测组件检测到的氧气含量所处的氧气含量区间，确定所述充气组件向所述foup内输入的惰性气体的目标流量值；其中，不同的氧气含量区间对应不同的流量值；
48.调节所述充气组件向所述foup内输入的惰性气体的流量为所述目标流量值。
49.在一种可行的实施方式中，所述根据所述检测组件检测到的氧气含量，调节所述充气组件向所述foup内输入的惰性气体的流量，包括：
50.确定所述检测组件检测到的氧气含量是否大于预设氧气含量阈值；
51.当所述检测组件检测到的氧气含量大于所述预设氧气含量阈值时，调节所述充气组件向所述foup内输入的惰性气体的流量为预设固定流量值。
52.在一种可行的实施方式中，所述调节所述充气组件向所述foup内输入的惰性气体的流量之后，还包括：
53.监测所述检测组件检测到的氧气含量；
54.当所述检测组件检测到的氧气含量小于或等于预设氧气含量阈值时，控制所述充气组件停止向所述foup内输入惰性气体。
55.在一种可行的实施方式中，所述控制所述充气组件停止向所述foup内输入惰性气体之后，还包括：
56.每间隔预设时长，确定所述检测组件检测到的氧气含量是否大于所述预设氧气含量阈值；
57.若所述检测组件检测到的氧气含量大于所述预设氧气含量阈值，则根据所述检测组件检测到的氧气含量，控制所述充气组件向所述foup内输入惰性气体。
58.在一种可行的实施方式中，所述控制所述充气组件停止向所述foup内输入惰性气体之后，还包括：
59.实时监控所述检测组件检测到的氧气含量是否大于所述预设氧气含量阈值；
60.若所述检测组件检测到的氧气含量大于所述预设氧气含量阈值，则根据所述检测组件检测到的氧气含量，控制所述充气组件向所述foup内输入惰性气体。
61.在一种可行的实施方式中，所述检测组件包括真空产生器，所述真空产生器用于
抽出所述foup内的气体；
62.所述控制所述充气组件停止向所述foup内输入惰性气体之后，还包括：
63.控制所述真空产生器停止工作。
64.本技术实施例中所提供的foup内氧气含量的调节系统及方法，在foup的排气口设置了检测组件，用于检测foup内的气体的氧气含量，同时还增加了控制器，该控制器用于根据检测组件检测到的氧气含量，调节充气组件向foup内输入的惰性气体的流量，即在本技术实施例中，输入foup内的惰性气体的流量并不是保持不变的，而是根据foup内的气体的氧气含量变化而变化的，由此不仅可以有效保障foup内部的氧气含量低于安全值，降低foup内部的硅片被氧化的风险，而且还可以减小惰性气体的浪费，降低生产成本。
附图说明
65.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对本技术实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
66.图1为本技术实施例中提供的一种自动物料搬送系统的结构示意图；
67.图2为本技术实施例中提供的一种foup内氧气含量的调节系统的结构示意图；
68.图3为本技术实施例中提供的一种foup内氧气含量的调节曲线示意图；
69.图4为本技术实施例中提供的另一种foup内氧气含量的调节曲线示意图；
70.图5为本技术实施例中提供的另一种foup内氧气含量的调节系统的结构示意图；
71.图6为本技术实施例中提供的一种foup内氧气含量的调节方法的流程示意图；
72.图7为本技术实施例中提供的另一种foup内氧气含量的调节方法的流程示意图。
具体实施方式
73.为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。此外，虽然本技术中公开内容按照示范性一个或几个实例来介绍，但应理解，可以就这些公开内容的各个方面也可以单独构成一个完整实施方式。
74.需要说明的是，本技术中对于术语的简要说明，仅是为了方便理解接下来描述的实施方式，而不是意图限定本技术的实施方式，除非另有说明，这些术语应当按照其普通和通常的含义理解。
75.此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖但不排它的包含，例如，包含了一系列组件的产品或设备不必限于清楚地列出的那些组件，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些产品或设备固有的其它组件。
76.参照图1，图1为本技术实施例中提供的一种自动物料搬送系统(automatic material handling system，简称amhs)的结构示意图。
77.在一些实施方式中，前开式晶圆传送盒(front opening unified pod，简称foup)
101是半导体制造过程中被用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器。当foup101盛装的晶圆无法进入下一道生产工序时，自动化天车(overhead hoist transfer，简称oht)102会将foup101放置在存储货架(overhead buffer，简称ohb)103上暂存，直至下一道工序可以生产为止。考虑到硅片上生产制程生成的电路很容易被氧化，因此通常会在foup101中充入氮气等惰性气体，以降低foup101内部的氧气含量，增加foup101内硅片的保存时间。
78.然而，在现有技术中，foup101放置在ohb103上暂存后，便会以固定的流量在foup101中充入惰性气体，直到下一道生产工序有足够的生产空间进行制程生产时才停止充入,之后foup101进入下一道生产工序。在此期间，无法保障foup内部的氧气含量低于安全值，因此foup内部的硅片仍然存在被氧化的风险；另外，长时间持续在foup中充入惰性气体，还会造成惰性气体的浪费，增加生产成本。
79.为了解决上述技术问题，本技术实施例中提供了一种foup内氧气含量的调节系统及方法，在foup的排气口设置了检测组件，用于检测foup内的气体的氧气含量，同时还增加了控制器，该控制器用于根据检测组件检测到的氧气含量，调节充气组件向foup内输入的惰性气体的流量，即输入foup内的惰性气体的流量并不是保持不变的，而是根据foup内的气体的氧气含量变化而变化的，由此不仅可以有效保障foup内部的氧气含量低于安全值，降低foup内部的硅片被氧化的风险，而且还可以减小惰性气体的浪费，降低生产成本。
80.参照图2，图2为本技术实施例中提供的一种foup内氧气含量的调节系统的结构示意图。
81.在一种可行的实施方式中，上述foup内氧气含量的调节系统包括充气组件201、foup101、控制器202以及检测组件203。
82.其中，充气组件201与foup101的进气口连接，充气组件201用于向foup101内输入惰性气体。
83.可选的，上述惰性气体可以是氮气(n2)、氦气(he)、氖气(ne)、氩气(ar)、氪气(kr)、氙气(xe)等一般条件下较难发生化学反应的气体，本技术实施例中不进行限制。
84.检测组件203与foup101的排气口连接，检测组件203用于检测foup101内的气体的氧气含量。
85.在一种可行的实施方式中，检测组件203可以同时具备抽气功能与氧气含量检测功能，可以先将foup内的气体抽出之后，再通过检测抽出的气体中的氧气含量，来确定foup内的气体的氧气含量。
86.充气组件201、检测组件203均与控制器202连接，控制器202用于根据检测组件检测到的氧气含量，调节充气组件201向foup101内输入的惰性气体的流量。
87.在一种可行的实施方式中，控制器202可以采用反馈调节机制，来调节充气组件201向foup101内输入的惰性气体的流量。
88.示例性的，当检测组件检测到的foup101内的气体的氧气含量越高时，控制器202控制充气组件201向foup101内输入的惰性气体的流量越大；当检测组件检测到的foup101内的气体的氧气含量越小时，控制器202控制充气组件201向foup101内输入的惰性气体的流量越小。
89.本技术实施例中所提供的foup内氧气含量的调节系统，在foup101的排气口设置了检测组件，用于检测foup101内的气体的氧气含量，同时还增加了控制器202，该控制器
202用于根据检测组件203检测到的氧气含量，调节充气组件201向foup101内输入的惰性气体的流量，即在本技术实施例中，输入foup101内的惰性气体的流量并不是保持不变的，而是根据foup101内的气体的氧气含量变化而变化的，由此不仅可以有效保障foup101内部的氧气含量低于安全值，降低foup101内部的硅片被氧化的风险，而且还可以减小惰性气体的浪费，降低生产成本。
90.基于上述实施例中所描述的内容，在本技术一种可行的实施方式中，控制器202具体用于：
91.a、获取检测组件203检测到的氧气含量。
92.b、确定检测组件203检测到的氧气含量所处的氧气含量区间。
93.c、根据检测组件203检测到的氧气含量所处的氧气含量区间，确定充气组件向foup内输入的惰性气体的目标流量值；其中，不同的氧气含量区间对应不同的流量值。
94.d、调节充气组件201向foup内输入的惰性气体的流量为上述目标流量值。
95.e、当检测组203件检测到的氧气含量小于或等于预设氧气含量阈值时，控制充气组件201停止向foup101内输入惰性气体。
96.即本技术实施例中，可以预先设置多个氧气含量区间，每个氧气含量区间对应不同的流量值，控制器202在获取到检测组件203检测到的foup101内的气体的氧气含量之后，根据获取到的氧气含量所处的氧气含量区间，来调节充气组件201向foup101内输入的惰性气体的流量。
97.为了更好的理解本技术实施例，参照图3，图3为本技术实施例中提供的一种foup内氧气含量的调节曲线示意图。
98.在图3中，假设检测组件203开始工作后，检测到foup101内的气体的氧气含量处于20％～30％之间，则控制器202控制充气组件201持续以35lpm的流量向foup101内输入惰性气体。
99.在到达t1时刻时，若检测组件203检测到foup101内的气体的氧气含量处于10％～20％之间，则控制器202控制充气组件201开始持续以25lpm的流量向foup101内输入惰性气体。
100.在到达t2时刻时，若检测组件203检测到foup101内的气体的氧气含量处于预设氧气含量阈值c％～10％之间，则控制器202控制充气组件201开始持续以15lpm的流量向foup101内输入惰性气体。
101.在到达t3时刻时，若检测组件203检测到foup101内的气体的氧气含量小于或等于预设氧气含量阈值c％，则控制器202控制充气组件201停止向foup101内输入惰性气体。
102.可选的，预设氧气含量阈值c％＜1％。
103.本技术通过上述控制方式，在不同的氧气含量区间，采用不同的流量大小，分阶段调整foup101内的气体的氧气含量，不仅可以快速降低foup101内的气体的氧气含量，还可以有效节约惰性气体的使用量。
104.基于上述实施例中所描述的内容，在本技术另一种可行的实施方式中，控制器202具体用于：
105.a、获取检测组件203检测到的氧气含量。
106.b、确定检测组件203检测到的氧气含量是否大于预设氧气含量阈值。
107.c、当检测组件203检测到的氧气含量大于上述预设氧气含量阈值时，调节充气组件201向foup101内输入的惰性气体的流量为预设固定流量值。
108.d、在经过一段时间后，若检测组件203检测到foup101内的气体的氧气含量小于或等于上述预设氧气含量阈值，则控制器202控制充气组件201停止向foup101内输入惰性气体。
109.即在本技术另一种可行的实施方式中，当检测组件203检测到的氧气含量大于预设氧气含量阈值时，控制器202可以控制充气组件201以固定流量向foup101内输入的惰性气体，直至检测组件203检测到的氧气含量小于或等于上述预设氧气含量阈值，控制充气组件201停止向foup101内输入惰性气体，可以有效节约惰性气体的使用量。
110.基于上述实施例中所描述的内容，在本技术一种可行的实施方式中，控制器202具体还用于：
111.在控制充气组件201停止向foup101内输入惰性气体之后，每间隔预设时长，确定检测组件203检测到的氧气含量是否大于预设氧气含量阈值；若检测组件203检测到的氧气含量大于预设氧气含量阈值，则根据检测组件203检测到的氧气含量，控制充气组件201向foup101内输入惰性气体。
112.为了更好的理解本技术实施例，参照图4，图4为本技术实施例中提供的另一种foup内氧气含量的调节曲线示意图。
113.图4中，假设在到达t3时刻时，检测组件203检测到foup101内的气体的氧气含量小于或等于预设氧气含量阈值c％，此时，控制器202控制充气组件201停止向foup101内输入惰性气体。在充气组件201停止向foup101内输入惰性气体之后，由于foup101内的气体会产生轻微流动，导致foup101内的氧气含量又逐渐上升。基于此，在一种可行的实施方式中，每间隔预设时长，确定检测组件203检测到的氧气含量是否大于预设氧气含量阈值c％，假设在t4时刻检测组件203检测到的氧气含量大于预设氧气含量阈值c％，且小于10％时，则在t4时刻控制充气组件201按照15lpm的流量向foup内输入惰性气体。
114.可选的，预设氧气含量阈值c％＜1％。
115.其中，充气组件201在向foup内输入惰性气体之后，若检测组件203在t5时刻检测到foup101内的气体的氧气含量重新降低至预设氧气含量阈值c％以下，则控制器202控制充气组件201停止向foup101内输入惰性气体。之后，控制器202继续每间隔预设时长，确定检测组件203检测到的氧气含量是否大于预设氧气含量阈值c％。
116.即在本技术实施例中，在将foup101内的气体的氧气含量调节至预设氧气含量阈值c％以下、且停止向foup101内输入惰性气体之后，可以每间隔预设时长，确定检测组件203检测到的氧气含量是否大于预设氧气含量阈值c％，若是，则控制充气组件201向foup内输入惰性气体，以降低foup101内的气体的氧气含量，由此不仅可以保障foup内部的氧气含量长时间低于预设氧气含量阈值，而且还可以减小惰性气体的浪费，降低生产成本。
117.基于上述实施例中所描述的内容，在本技术另一种可行的实施方式中，控制器202具体还用于：
118.在控制充气组件201停止向foup101内输入惰性气体之后，实时监控检测组件203检测到的氧气含量是否大于预设氧气含量阈值；若大于，则根据检测组件203检测到的氧气含量，控制充气组件201向foup内输入惰性气体。
119.即在本技术实施例中，在将foup101内的气体的氧气含量调节至预设氧气含量阈值c％以下、且停止向foup101内输入惰性气体之后，可以实时监控检测组件203检测到的氧气含量是否大于预设氧气含量阈值c％，若是，则控制充气组件201向foup内输入惰性气体，以降低foup101内的气体的氧气含量，同样不仅可以保障foup内部的氧气含量长时间低于预设氧气含量阈值，而且还可以减小惰性气体的浪费，降低生产成本。
120.基于上述实施例中所描述的内容，参照图5，图5为本技术实施例中提供的另一种foup内氧气含量的调节系统的结构示意图。
121.在一些实施例中，上述foup内氧气含量的调节系统还包括过滤器204，过滤器204位于充气组件201与foup101的进气口之间；过滤器101用于对充气组件输出的惰性气体进行过滤，可以起到纯化惰性气体的作用，避免管道内部杂质污染foup101的内部环境。
122.充气组件201包括充气口、进气阀门、气体流量控制器。其中，充气口用于输出惰性气体，进气阀门位于充气口与气体流量控制器之间，用于开关充气口输出的惰性气体；气体流量控制器位于充气口与过滤器204之间，用于根据控制器202发送的调节指令，调节上述充气口向foup101内输入的惰性气体的流量。
123.检测组件203包括真空产生器与氧浓度传感器，真空产生器位于foup101的排气口与氧浓度传感器之间，用于抽出foup101内的气体，并将抽出的foup101内的气体输送至氧浓度传感器；氧浓度传感器用于检测真空产生器输送的气体中的氧气含量。
124.可以理解的是，在本技术另一些实施例中，氧浓度传感器也可以位于foup的排气口与真空产生器之间；此种情况下，真空产生器抽出的foup内的气体会先经过氧浓度传感器，而氧浓度传感器可以直接用于检测foup内被抽出的气体中的氧气含量。
125.可选的，在其它实施例中，还可以采用抽气泵等具有抽气功能的设备代替，本技术实施例中不做限定。
126.可以理解的是，在一些实施例中，过滤器204也可以与存储货架(over head buffer，ohb)的进气管连接，检测组件203与ohb的排气管连接。
127.当foup放置在ohb上暂存时，ohb的进气管与foup的进气口位置相对应，ohb的排气管则与foup的排气口位置相对应，由此，从过滤器204输出的惰性气体即可从foup的进气口流入后，从foup的排气口流出。
128.在一些实施例中，控制器202还用于在控制充气组件201停止向foup101内输入惰性气体之后，控制上述真空产生器停止工作，以避免foup101内部的惰性气体被抽空。
129.在一些实施例中，上述foup内氧气含量的调节系统还包括排气组件205，检测组件203位于foup101的排气口与排气组件205之间。
130.其中，排气组件205包括排气阀门与排气管道。排气阀门用于在充气组件201停止向foup101内输入惰性气体之后，关闭排气管道，以避免外部空气倒流入foup101内，降低foup101内部的硅片被氧化的风险。
131.本技术实施例中，通过对foup进行抽气处理，并通过氧浓度传感器来判断foup内部的氧气含量，之后依据foup内部的氧气含量，确定所要输入的惰性气体的流量，并根据该流量向foup内部输入惰性气体。其中，在向foup内部输入惰性气体的过程中，采用反馈调节机制，即每隔固定时间基于氧浓度传感器反馈的量测结果，控制器实时的调整惰性气体的输入流量，达到最优控制。
132.即本技术实施例中所提供的foup内氧气含量的调节系统，输入foup内的惰性气体的流量并不是保持不变的，而是根据foup内的气体的氧气含量变化而变化的，由此不仅可以有效保障foup内部的氧气含量低于安全值，降低foup内部的硅片被氧化的风险，而且还可以减小惰性气体的浪费，降低生产成本。
133.基于上述实施例中所描述的内容，本技术实施例中还提供了一种foup内氧气含量的调节方法，应用于上述实施例中描述的foup内氧气含量的调节系统，在一种可行的实施方式中，该方法包括：
134.步骤a、获取检测组件检测到的氧气含量。
135.步骤b、根据检测组件检测到的氧气含量，调节充气组件向foup内输入的惰性气体的流量。
136.其中，上述充气组件与foup的进气口连接，用于向foup内输入惰性气体；检测组件与foup的排气口连接，用于检测foup内的气体的氧气含量。
137.在一种可行的实施方式中，调节充气组件向foup内输入的惰性气体的流量，包括：
138.步骤a1、确定检测组件检测到的氧气含量所处的氧气含量区间。
139.步骤a2、根据检测组件检测到的氧气含量所处的氧气含量区间，确定充气组件向foup内输入的惰性气体的目标流量值；其中，不同的氧气含量区间对应不同的流量值。
140.步骤a3、调节所述充气组件向所述foup内输入的惰性气体的流量为所述目标流量值。
141.在另一种可行的实施方式中，调节充气组件向foup内输入的惰性气体的流量，包括：
142.步骤a1、确定检测组件检测到的氧气含量是否大于预设氧气含量阈值。
143.步骤a2、当检测组件检测到的氧气含量大于预设氧气含量阈值时，调节充气组件向foup内输入的惰性气体的流量为预设固定流量值。
144.在一些实施例中，调节充气组件向foup内输入的惰性气体的流量之后，还包括：
145.监测检测组件检测到的氧气含量；当检测组件检测到的氧气含量小于或等于预设氧气含量阈值时，控制充气组件停止向foup内输入惰性气体。
146.在一些实施例中，控制充气组件停止向foup内输入惰性气体之后，还包括：
147.每间隔预设时长，确定检测组件检测到的氧气含量是否大于预设氧气含量阈值；若检测组件检测到的氧气含量大于预设氧气含量阈值，则根据检测组件检测到的氧气含量，控制充气组件向foup内输入惰性气体。
148.在一些实施例中，控制充气组件停止向foup内输入惰性气体之后，还包括：
149.实时监控检测组件检测到的氧气含量是否大于预设氧气含量阈值；若检测组件检测到的氧气含量大于预设氧气含量阈值，则根据检测组件检测到的氧气含量，控制充气组件向foup内输入惰性气体。
150.在一些实施例中，检测组件包括真空产生器，该真空产生器用于抽出foup内的气体；在控制充气组件停止向foup内输入惰性气体之后，还包括控制上述真空产生器停止工作。
151.为了更好的理解本技术实施例，参照图6，图6为本技术实施例中提供的一种foup内氧气含量的调节方法的流程示意图。
152.在一种可行的实施方式中，上述foup内氧气含量的调节方法包括：
153.s601、在foup放置于ohb上暂存时，启动控制器。
154.s602、由检测组件内的真空产生器抽取foup内的气体。
155.s603、由检测组件内的氧浓度传感器检测抽取出的气体中的氧气含量，并反馈至控制器。
156.s604、控制器基于氧浓度传感器检测出的氧气含量，确定惰性气体的输入流量，并发送至充气组件。
157.s605、充气组件按照控制器确定的输入流量向foup内输入惰性气体。
158.s606、由检测组件内的氧浓度传感器检测抽取出的气体中的氧气含量，并反馈至控制器。
159.s607、控制器确定foup内的氧气含量是否大于预设氧气含量阈值。若是，则返回执行步骤s604；若否，则继续执行步骤s608。
160.s608、控制器控制充气组件停止向foup内输入惰性气体，以及控制真空产生器停止工作。
161.本技术实施例中所提供的foup内氧气含量的调节方法，输入foup内的惰性气体的流量并不是保持不变的，而是根据foup内的气体的氧气含量变化而变化的，由此不仅可以有效保障foup内部的氧气含量低于安全值，降低foup内部的硅片被氧化的风险，而且还可以减小惰性气体的浪费，降低生产成本。
162.基于上述实施例中所描述的内容，为了更好的理解本技术实施例，参照图7，图7为本技术实施例中提供的另一种foup内氧气含量的调节方法的流程示意图。
163.在本技术一些实施例中，在上述步骤s608之后，还可以包括以下步骤：
164.s701、间隔预设时长，控制器获取检测组件检测到的氧气含量。
165.s702、控制器确定该氧气含量是否大于预设氧气含量阈值。若是，则执行步骤s703；若否则返回执行步骤s701。
166.s703、控制器基于检测出的氧气含量，确定惰性气体的输入流量，并发送至充气组件。
167.s704、充气组件按照控制器确定的输入流量向foup内输入惰性气体。
168.s705、控制器确定检测组件最新检测出的氧气含量是否大于预设氧气含量阈值。若否，则执行步骤s706；若是，则返回执行步骤s703。
169.s706，控制器控制充气组件停止充气，以及控制真空产生器停止工作。同时，返回继续执行步骤s701。
170.即在本技术实施例中，在将foup内的气体的氧气含量调节至预设氧气含量阈值c％以下、且停止向foup内输入惰性气体之后，可以每间隔预设时长，确定检测组件检测到的氧气含量是否大于预设氧气含量阈值c％，若是，则控制充气组件向foup内输入惰性气体，以降低foup内的气体的氧气含量，由此不仅可以保障foup内部的氧气含量长时间低于预设氧气含量阈值，而且还可以减小惰性气体的浪费，降低生产成本。
171.基于上述实施例中所描述的内容，本技术实施例中还提供了一种计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质中存储有计算机执行指令，当处理器执行所述计算机执行指令时，以实现如上述实施例中描述的foup内氧气含量的调节方法的各个步骤。
172.在本技术所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的设备和方法，可以通过其它的方式实现。例如，以上所描述的设备实施例仅仅是示意性的，例如，所述模块的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，例如多个模块可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些接口，装置或模块的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。
173.所述作为分离部件说明的模块可以是或者也可以不是物理上分开的，作为模块显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。
174.另外，在本技术各个实施例中的各功能模块可以集成在一个处理单元中，也可以是各个模块单独物理存在，也可以两个或两个以上模块集成在一个单元中。上述模块成的单元既可以采用硬件的形式实现，也可以采用硬件加软件功能单元的形式实现。
175.上述以软件功能模块的形式实现的集成的模块，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。上述软件功能模块存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)或处理器(英文：processor)执行本技术各个实施例所述方法的部分步骤。
176.应理解，上述处理器可以是中央处理单元(英文：central processing unit，简称：cpu)，还可以是其他通用处理器、数字信号处理器(英文：digital signal processor，简称：dsp)、专用集成电路(英文：application specific integrated circuit，简称：asic)等。通用处理器可以是微处理器或者该处理器也可以是任何常规的处理器等。结合申请所公开的方法的步骤可以直接体现为硬件处理器执行完成，或者用处理器中的硬件及软件模块组合执行完成。
177.存储器可能包含高速ram存储器，也可能还包括非易失性存储nvm，例如至少一个磁盘存储器，还可以为u盘、移动硬盘、只读存储器、磁盘或光盘等。
178.总线可以是工业标准体系结构(industry standard architecture，isa)总线、外部设备互连(peripheral component，pci)总线或扩展工业标准体系结构(extended industry standard architecture，eisa)总线等。总线可以分为地址总线、数据总线、控制总线等。为便于表示，本技术附图中的总线并不限定仅有一根总线或一种类型的总线。
179.上述存储介质可以是由任何类型的易失性或非易失性存储设备或者它们的组合实现，如静态随机存取存储器(sram)，电可擦除可编程只读存储器(eeprom)，可擦除可编程只读存储器(eprom)，可编程只读存储器(prom)，只读存储器(rom)，磁存储器，快闪存储器，磁盘或光盘。存储介质可以是通用或专用计算机能够存取的任何可用介质。
180.一种示例性的存储介质耦合至处理器，从而使处理器能够从该存储介质读取信息，且可向该存储介质写入信息。当然，存储介质也可以是处理器的组成部分。处理器和存储介质可以位于专用集成电路(application specific integrated circuits，简称：asic)中。当然，处理器和存储介质也可以作为分立组件存在于电子设备或主控设备中。
181.本领域普通技术人员可以理解：实现上述各方法实施例的全部或部分步骤可以通过程序指令相关的硬件来完成。前述的程序可以存储于一计算机可读取存储介质中。该程
序在执行时，执行包括上述各方法实施例的步骤；而前述的存储介质包括：rom、ram、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。
182.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本技术的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例技术方案的范围。