技术特征：
1.一种前开式晶圆传送盒内氧气含量的调节系统，其特征在于，包括充气组件、前开式晶圆传送盒foup、控制器以及检测组件；所述充气组件与所述foup的进气口连接，所述充气组件用于向所述foup内输入惰性气体；所述检测组件与所述foup的排气口连接，所述检测组件用于检测所述foup内的气体的氧气含量；所述充气组件、所述检测组件均与所述控制器连接，所述控制器用于根据所述检测组件检测到的氧气含量，调节所述充气组件向所述foup内输入的惰性气体的流量。2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述控制器具体用于：获取所述检测组件检测到的氧气含量；确定所述检测组件检测到的氧气含量所处的氧气含量区间；根据所述检测组件检测到的氧气含量所处的氧气含量区间，确定所述充气组件向所述foup内输入的惰性气体的目标流量值；其中，不同的氧气含量区间对应不同的流量值；调节所述充气组件向所述foup内输入的惰性气体的流量为所述目标流量值。3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述控制器具体用于：获取所述检测组件检测到的氧气含量；确定所述检测组件检测到的氧气含量是否大于预设氧气含量阈值；当所述检测组件检测到的氧气含量大于所述预设氧气含量阈值时，调节所述充气组件向所述foup内输入的惰性气体的流量为预设固定流量值。4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述控制器具体还用于：在调节所述充气组件向所述foup内输入的惰性气体的流量之后，监测所述检测组件检测到的氧气含量；当所述检测组件检测到的氧气含量小于或等于预设氧气含量阈值时，控制所述充气组件停止向所述foup内输入惰性气体。5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述控制器具体还用于：在控制所述充气组件停止向所述foup内输入惰性气体之后，每间隔预设时长，确定所述检测组件检测到的氧气含量是否大于所述预设氧气含量阈值；若所述检测组件检测到的氧气含量大于所述预设氧气含量阈值，则根据所述检测组件检测到的氧气含量，控制所述充气组件向所述foup内输入惰性气体。6.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述控制器具体还用于：在控制所述充气组件停止向所述foup内输入惰性气体之后，实时监控所述检测组件检测到的氧气含量是否大于所述预设氧气含量阈值；若所述检测组件检测到的氧气含量大于所述预设氧气含量阈值，则根据所述检测组件检测到的氧气含量，控制所述充气组件向所述foup内输入惰性气体。7.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括过滤器，所述过滤器位于所述充气组件与所述foup的进气口之间；所述过滤器用于对所述充气组件输出的惰性气体进行过滤。8.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述充气组件包括充气口与气体流量控制器，所述气体流量控制器位于所述充气口与所述foup的进气口之间；
所述充气口用于输出所述惰性气体，所述气体流量控制器用于根据所述控制器发送的调节指令，调节所述充气口向所述foup内输入的惰性气体的流量。9.根据权利要求8所述的系统，其特征在于，所述充气组件还包括进气阀门，所述进气阀门位于所述充气口与所述气体流量控制器之间。10.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述检测组件包括真空产生器与氧浓度传感器，所述真空产生器位于所述foup的排气口与所述氧浓度传感器之间；所述真空产生器用于抽出所述foup内的气体，并将抽出的所述foup内的气体输送至所述氧浓度传感器；所述氧浓度传感器用于检测所述真空产生器输送的气体中的氧气含量。11.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述检测组件包括真空产生器与氧浓度传感器，所述氧浓度传感器位于所述foup的排气口与所述真空产生器之间；所述真空产生器用于抽出所述foup内的气体，所述氧浓度传感器用于检测所述foup内被抽出的气体中的氧气含量。12.根据权利要求9或10所述的系统，其特征在于，所述控制器还用于：在控制所述充气组件停止向所述foup内输入惰性气体之后，控制所述真空产生器停止工作。13.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括排气组件，所述检测组件位于所述foup的排气口与所述排气组件之间；所述排气组件包括排气阀门与排气管道。14.一种前开式晶圆传送盒内氧气含量的调节方法，其特征在于，应用于前开式晶圆传送盒foup内氧气含量的调节系统，所述foup内氧气含量的调节系统包括充气组件、foup以及检测组件；所述充气组件与所述foup的进气口连接，所述充气组件用于向所述foup内输入惰性气体；所述检测组件与所述foup的排气口连接，所述检测组件用于检测所述foup内的气体的氧气含量；所述方法包括：获取所述检测组件检测到的氧气含量；根据所述检测组件检测到的氧气含量，调节所述充气组件向所述foup内输入的惰性气体的流量。15.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，所述根据所述检测组件检测到的氧气含量，调节所述充气组件向所述foup内输入的惰性气体的流量，包括：确定所述检测组件检测到的氧气含量所处的氧气含量区间；根据所述检测组件检测到的氧气含量所处的氧气含量区间，确定所述充气组件向所述foup内输入的惰性气体的目标流量值；其中，不同的氧气含量区间对应不同的流量值；调节所述充气组件向所述foup内输入的惰性气体的流量为所述目标流量值。16.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，所述根据所述检测组件检测到的氧气含量，调节所述充气组件向所述foup内输入的惰性气体的流量，包括：确定所述检测组件检测到的氧气含量是否大于预设氧气含量阈值；当所述检测组件检测到的氧气含量大于所述预设氧气含量阈值时，调节所述充气组件向所述foup内输入的惰性气体的流量为预设固定流量值。17.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，所述调节所述充气组件向所述foup内输
入的惰性气体的流量之后，还包括：监测所述检测组件检测到的氧气含量；当所述检测组件检测到的氧气含量小于或等于预设氧气含量阈值时，控制所述充气组件停止向所述foup内输入惰性气体。18.根据权利要求17所述的方法，其特征在于，所述控制所述充气组件停止向所述foup内输入惰性气体之后，还包括：每间隔预设时长，确定所述检测组件检测到的氧气含量是否大于所述预设氧气含量阈值；若所述检测组件检测到的氧气含量大于所述预设氧气含量阈值，则根据所述检测组件检测到的氧气含量，控制所述充气组件向所述foup内输入惰性气体。19.根据权利要求17所述的方法，其特征在于，所述控制所述充气组件停止向所述foup内输入惰性气体之后，还包括：实时监控所述检测组件检测到的氧气含量是否大于所述预设氧气含量阈值；若所述检测组件检测到的氧气含量大于所述预设氧气含量阈值，则根据所述检测组件检测到的氧气含量，控制所述充气组件向所述foup内输入惰性气体。20.根据权利要求17所述的方法，其特征在于，所述检测组件包括真空产生器，所述真空产生器用于抽出所述foup内的气体；所述控制所述充气组件停止向所述foup内输入惰性气体之后，还包括：控制所述真空产生器停止工作。
技术总结
本申请实施例提供了一种FOUP内氧气含量的调节系统及方法，该FOUP内氧气含量的调节系统包括充气组件、FOUP、控制器以及检测组件；充气组件与FOUP的进气口连接，用于向所述FOUP内输入惰性气体；检测组件与FOUP的排气口连接，用于检测FOUP内的气体的氧气含量；充气组件、检测组件均与控制器连接，控制器用于根据检测组件检测到的氧气含量，调节充气组件向FOUP内输入的惰性气体的流量。即在本申请实施例中，输入FOUP内的惰性气体的流量并不是保持不变的，而是根据FOUP内的气体的氧气含量变化而变化的，由此不仅可以有效保障FOUP内部的氧气含量低于安全值，而且还可以减小惰性气体的浪费，降低生产成本。降低生产成本。降低生产成本。
技术研发人员：张大朋
受保护的技术使用者：长鑫存储技术有限公司
技术研发日：2021.07.26
技术公布日：2023/2/3