技术编号:3322905
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种在通过电子束蒸镀法、离子镀法或高密度等离子体辅助蒸镀法等各种真空蒸镀法制造透明导电膜时所使用的氧化物蒸镀材料、以及利用该氧化物蒸镀材料制造的透明导电膜,例如,涉及用于制造可用作太阳能电池的透明电极的电阻低且在可见区表现出高透过率的透明导电膜而使用的氧化物蒸镀材料的改良。背景技术透明导电膜具有高导电性和在可见光区域的高透光率。因此,发挥该特性,将上述透明导电膜利用于太阳能电池、液晶显示元件、其他各种受光元件的电极等中,而且还发挥其在近红外线区域...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。