技术编号:3322912
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请要求于2010年3月26日提交的欧洲申请号10157904. 3的优先权,出于所有的目的将该申请的全部内容通过引用结合在此。本发明涉及一种用于在制造电子器件的方法中在升高的压カ下供应(递送)元素氟的方法。元素氟(F2)不具有GWP且对于臭氧层无影响并且通常是由HF电解地产生的。在一种电解质盐的存在下,如果施加至少2. 9V的电压则HF释放出氟。实际上,该电压通常被保持在8至10或11伏特的范围内。ー种通常具有化学式KF (I. 8-2. 3) H...
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