技术编号:3326895
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种ITO靶材,包括靶材本体,其特征在于所述靶材本体由分体式设置的外圈溅射区及设置于溅射区内侧的非溅射区构成,所述溅射区与非溅射区之间拼接连接。本实用新型靶材由分体式的溅射区和非溅射区构成,两者之间拼接连接,溅射完成后非溅射区可再次利用,降低了靶材的成本,提高了资源的利用率。专利说明 一种ITO朝材[0001 ] 本实用新型涉及一种ITO靶材。背景技术[0002]随着科技的进步,触摸屏手机、触摸屏笔记本、GPS导航仪、POS机触摸屏、KTV...
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