技术编号:3326896
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜用的输气管道结构,包括管道本体,所述管道本体一端为进气端,所述管道本体上等间距开设有若干输出孔,其特征在于所述相邻两个输出孔区段内均开设有若干微输出孔,所述微输出孔的孔径沿远离进气端的方向逐渐增大。本实用新型通过在相邻输出孔内开设微输出孔,微输出孔的孔径沿远离进气端的方向逐渐增大,解决了气体随着流动距离增加动力减弱而引起的输出流量不均匀的问题,提高了镀膜产品的均匀性。专利说明一种磁控溅射镀膜用的输气管道结构[0001]本实用...
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