技术编号:3328957
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种提升外延片质量的石墨盘,包括盘体,所述的盘体上表面、下表面设有若干个凹槽,其特征在于所述盘体上表面凹槽用于放置外延片,下表面凹槽与上表面凹槽相对应,用于均匀加热外延片。本实用新型具有结构简单、制作方便和适用面广的优点,能有效解决外延生长过程中由于片子翘曲带来的受热不均匀的问题,从而提升外延片的品质。专利说明一种提升外延片质量的石墨盘[0001]本实用新型属于化学沉积气相,尤其是一种能提升外延片质量的石墨盘。背景技术[0002]目前,衬底...
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