技术编号：3329029
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种溅射靶，包括靶材和背板，背板为长条状，背板包括多段依次连接的分背板，分背板与相邻分背板的连接处设置有连接面，且连接面的形状与相邻分背板的连接面的形状相适配；靶材为多块，靶材一一对应的粘贴在分背板上，且靶材的形状与分背板的形状相适配。上述溅射靶，背板包括多段相对较小的分背板，靶材和分背板一一对应，一个分背板粘贴一块靶材。更换时，只需要将快用完的靶材换掉，不仅节约了靶材，而且保证了靶材的均匀度，有助于提高溅镀的质量。分背板相连处设置相互匹配的连接面，可以防...
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