溅射靶的制作方法
【专利摘要】一种溅射靶，包括靶材和背板，背板为长条状，背板包括多段依次连接的分背板，分背板与相邻分背板的连接处设置有连接面，且连接面的形状与相邻分背板的连接面的形状相适配；靶材为多块，靶材一一对应的粘贴在分背板上，且靶材的形状与分背板的形状相适配。上述溅射靶，背板包括多段相对较小的分背板，靶材和分背板一一对应，一个分背板粘贴一块靶材。更换时，只需要将快用完的靶材换掉，不仅节约了靶材，而且保证了靶材的均匀度，有助于提高溅镀的质量。分背板相连处设置相互匹配的连接面，可以防止溅射过程中溅镀原料随缝隙溅入到阴极背板上，影响到阴极的使用质量。
【专利说明】溅射靶
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及溅镀的【技术领域】，特别是涉及一种溅射靶。
【背景技术】
[0002] -般的铜背板比较长，铜背板的同一侧上粘贴两块靶材。有时在需要更换靶材时， 一块靶材快用完了，但另一块还剩很多，但是由于两块靶材粘在同一个铜背板上，所以两块 靶材要同时拆下来。因此会造成靶材浪费，增加了成本，同时也会增加工时,提高了人力成 本。 实用新型内容
[0003] 基于此，有必要针对长背板容易造成靶材浪费的问题，提供一种溅射靶。
[0004] 一种溅射靶，包括背板和靶材；
[0005] 所述背板为长条状，所述背板包括多段依次连接的分背板，所述分背板与相邻所 述分背板的连接处设置有连接面，且所述连接面的形状与相邻所述分背板的所述连接面的 形状相适配；
[0006] 所述靶材为多块，所述靶材一一对应的粘贴在所述分背板上，且所述靶材的形状 与所述分背板的形状相适配。
[0007] 在其中一个实施例中，所述连接面为斜面。
[0008] 在其中一个实施例中，所述连接面与所述背板延伸平面的夹角为15度至75度。
[0009] 在其中一个实施例中，所述连接面上设置有阶形部。
[0010] 在其中一个实施例中，所述阶形部包括平行于所述背板延伸平面的平行面。
[0011] 在其中一个实施例中，所述连接面为曲面。
[0012] 在其中一个实施例中，所述连接面为弯折面。
[0013] 在其中一个实施例中，所述背板的两长边处设置有台阶部。
[0014] 在其中一个实施例中，所述分背板的材质为铜。
[0015] 在其中一个实施例中，所述靶材和所述分背板之间设有连接层，所述连接层为铟 层。
[0016] 上述溅射靶，背板包括多段相对较小的分背板，靶材和分背板一一对应，一个分背 板粘贴一块靶材。更换时，只需要将快用完的靶材换掉，不仅节约了靶材，而且保证了靶材 的均匀度，有助于提高溅镀的质量。分背板相连处设置相互匹配的连接面，可以防止溅射过 程中溅镀原料随缝隙溅入到阴极背板上，影响到阴极的使用质量。
【专利附图】
【附图说明】
[0017] 图1为一实施例溅射靶的示意图；
[0018] 图2为图1所示溅射靶的A处放大图；
[0019] 图3为图1所示溅射靶的分背板的示意图；
[0020] 图4为图1所示溅射靶的侧视图；
[0021] 图5为图4所示溅射靶的B处放大图；
[0022] 图6为图4所示溅射靶的分背板的侧视图；
[0023] 图7为又一实施例溅射靶的示意图；
[0024] 图8为又一实施例溅射靶的示意图。
【具体实施方式】
[0025] 为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对溅射靶进行更全面的描述。附 图中给出了溅射靶的首选实施例。但是，溅射靶可以以许多不同的形式来实现，并不限于本 文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对溅射靶的公开内容更加透彻全 面。
[0026] 除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领 域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在溅射靶的说明书中所使用的术语只是为了描 述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语"及/或"包括一 个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0027] 如图1、图2所示，一实施方式的溅射靶10包括靶材100和背板200,背板200为 长条状，同时参见图3,背板200包括多段依次连接的分背板220。同时参见图4至图6,分 背板220与相邻分背板220的连接处设置有连接面222,且连接面222的形状与相邻分背板 220的连接面222的形状相适配。靶材100为多块，靶材100 -一对应的粘贴在分背板220 上，且靶材100的形状与分背板220的形状相适配。分背板220的材质可以是铜，靶材100 和分背板220之间设有连接层，连接层为铟层。靶材100和分背板220可以通过金属铟连 接，即金属铟加热至170摄氏度左右，可以是140摄氏度至200摄氏度之间，金属铟融化后 作为粘贴剂将靶材1〇〇和分背板220粘贴在一起。
[0028] 本实施例的背板200包括多段相对较小的分背板220,靶材100和分背板220-- 对应，一个分背板220粘贴一块靶材100。哪块靶材100用完了就相应的更换哪块靶材100， 其他分背板220上的靶材100不必更换，只需要将快用完的靶材100换掉，节约了靶材100， 降低了原料成本。而且将背板200分为小块，有助于控制背板200各个区域的靶材100的 量，保证了靶材的均匀度，有助于提高溅镀的质量。分背板220相连处设置相互匹配的连接 面222,可以防止溅射过程中溅镀原料随缝隙溅入到阴极背板上，影响到阴极的使用质量。
[0029] 参见图1至图3,在其中一个实施例中，背板200的两长边处设置有台阶部240。台 阶部240可以位于每一个分背板220上，由于分背板220在加热时会受热膨胀，可以通过台 阶部240将分背板220固定在溅射装置上，防止分背板220变形。
[0030] 在其中一个实施例中，连接面222可以是斜面、曲面或弯折面。图4至图6所示 的实施例中，连接面222为斜面，连接面222与背板200延伸平面的夹角可以是15度至75 度，图4至图6所示的实施例中，连接面222与背板200延伸方向的夹角为45度。夹角在 15度至75度之间与直角相比，溅镀原料不容易进入两分背板220之间的缝隙，即使有少量 的溅镀原料进入该缝隙，也会堆积在缝隙的边缘，不会进入缝隙的中部。因此可以阻止溅镀 原料随缝隙溅入到阴极背板上。
[0031] 同时参见图7,在其中一个实施例中，连接面222上设置有阶形部224,阶形部224 包括平行于背板200延伸平面的平行面。如果有少量的溅镀原料进入两分背板220之间的 缝隙，平行面可以起到拦截溅镀原料的作用，进一步防止溅镀原料进入缝隙的中部。
[0032] 同时参见图8,在其中一个实施例中，连接面222为曲面，两分背板220之间的朝向 靶材100-侧的缝隙开口处，曲面的切向角度在15度至75度之间，也可以防止溅射过程中 溅镀原料溅入缝隙。
[0033] 以上实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并 不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术 人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本 实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【权利要求】
1. 一种溅射靶，其特征在于，包括背板和靶材； 所述背板为长条状，所述背板包括多段依次连接的分背板，所述分背板与相邻所述分 背板的连接处设置有连接面，且所述连接面的形状与相邻所述分背板的所述连接面的形状 相适配； 所述靶材为多块，所述靶材一一对应的粘贴在所述分背板上，且所述靶材的形状与所 述分背板的形状相适配。
2. 根据权利要求1所述的溅射靶，其特征在于，所述连接面为斜面。
3. 根据权利要求2所述的溅射靶，其特征在于，所述连接面与所述背板延伸平面的夹 角为15度至75度。
4. 根据权利要求2所述的溅射靶，其特征在于，所述连接面上设置有阶形部。
5. 根据权利要求4所述的溅射靶，其特征在于，所述阶形部包括平行于所述背板延伸 平面的平行面。
6. 根据权利要求1所述的溅射靶，其特征在于，所述连接面为曲面。
7. 根据权利要求1所述的溅射靶，其特征在于，所述连接面为弯折面。
8. 根据权利要求1至7任一项所述的溅射靶，其特征在于，所述背板的两长边处设置有 台阶部。
9. 根据权利要求8所述的溅射靶，其特征在于，所述分背板的材质为铜。
10. 根据权利要求9所述的溅射靶，其特征在于，所述靶材和所述分背板之间设有连接 层，所述连接层为铟层。
【文档编号】C23C14/34GK203890432SQ201420160844
【公开日】2014年10月22日 申请日期:2014年4月3日 优先权日:2014年4月3日
【发明者】张迅, 阳威, 欧阳小园, 易伟华 申请人:江西沃格光电股份有限公司