技术编号:3332547
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置,包括盖板、电擦机构、绝缘机构和靶芯机构,所述靶芯机构的两端分别通过电擦机构和绝缘机构与盖板连接;所述靶芯机构包括靶壳、靶芯、磁钢靶、隔水管和2张密封板,所述靶壳的一端连接于电擦机构,另一端连接于绝缘机构;所述靶芯安装于靶壳内,所述隔水管套于靶芯,所述隔水管的两端通过密封板与靶芯密封连接,所述靶芯、隔水管和密封板形成密封腔,所述磁钢靶安装于靶芯,且所述磁钢靶位于密封腔内。本实用新型的工作可靠性高,制造成本...
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