一种用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置，包括盖板、电擦机构、绝缘机构和靶芯机构，所述靶芯机构的两端分别通过电擦机构和绝缘机构与盖板连接；所述靶芯机构包括靶壳、靶芯、磁钢靶、隔水管和2张密封板，所述靶壳的一端连接于电擦机构，另一端连接于绝缘机构；所述靶芯安装于靶壳内，所述隔水管套于靶芯，所述隔水管的两端通过密封板与靶芯密封连接，所述靶芯、隔水管和密封板形成密封腔，所述磁钢靶安装于靶芯，且所述磁钢靶位于密封腔内。本实用新型的工作可靠性高，制造成本低，且方便安装和维护。
【专利说明】一种用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及镀膜设备，具体涉及一种用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置。
【背景技术】
[0002]连续式磁控镀膜生产线为玻璃镀膜工艺的重要设备。而靶装置是连线式磁控镀膜生产线中非常的重要部分。靶装置中的磁钢靶对靶材进行轰击，使靶材表面组份以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。目前的靶装置存在以下缺陷:
[0003]1、靶芯机构中的磁钢靶直接浸泡于靶壳内的冷却水里，从而磁钢靶容易因生锈而导致工作失效，可靠性低；
[0004]2、靶芯机构中的磁钢靶因运行磨损等原因而容易与靶壳直接接触，而且磁钢靶安装于靶芯的稳定性差，即磁钢靶会发生位移，从而引起磁路的不均匀，导致工作失效，可靠性低；
[0005]3、绝缘机构中的绝缘板设置于真空室内，即位于盖板的下方，则在镀膜过程中，自靶材飞出的金属容易粘在绝缘板的表面形成导电的膜层，从而使工作效，可靠性低；
[0006]4、绝缘机构的密封性能差，螺栓容易疲劳磨损，而且需要对每个螺栓设备独立的绝缘垫，导致安装和维护不方便，提高了成本；
[0007]5、电擦机构需要采用较多零件，造成加工周期长，成本高，利于进行大批量生产。实用新型内容
[0008]本实用新型的目的是为了克服以上现有技术存在的不足，提供了一种结构简单、合理，工作可靠性高的用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置。
[0009]本实用新型的目的通过以下的技术方案实现:本用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置，包括盖板、电擦机构、绝缘机构和靶芯机构，所述靶芯机构的一端通过电擦机构与盖板连接，所述靶芯机构的另一端通过绝缘机构与盖板连接；所述靶芯机构包括靶壳、靶芯、磁钢靶、隔水管和2张密封板，所述靶壳的一端连接于电擦机构，另一端连接于绝缘机构；所述靶芯安装于靶壳内，所述隔水管套于靶芯，所述隔水管的两端通过密封板与靶芯密封连接，所述靶芯、隔水管和密封板形成密封腔，所述磁钢靶安装于靶芯，且所述磁钢靶位于密封腔内。
[0010]优选的，所述靶芯的下侧中部设有安装槽，所述磁钢靶插入安装槽。
[0011]优选的，所述靶芯机构中的磁钢靶的数量为3。
[0012]优选的，所述隔水管呈圆形或方形；所述隔水管的材料为钢材。
[0013]优选的，所述靶芯机构的数量具有2个，2个所述靶芯机构平行设置于盖板下方。
[0014]优选的，所述绝缘机构包括密封座、绝缘板、连接管和8个螺栓，所述密封座的下端自上而下依次穿过绝缘板和盖板，所述密封座的法兰部的下端面贴紧于绝缘板的上面，所述绝缘板的下端紧贴于盖板的上面；所述密封座的法兰部、绝缘板和盖板通过螺栓连接一起，所述连接管一端连接于密封座，另一端连接于靶壳。
[0015]优选的，所述螺栓的数量为8个，其中4个所述螺栓为第一螺栓，剩下4个为第二螺栓，所述密封座的法兰部设有第一通孔和第二通孔，所述绝缘板设有与第一通孔对应的第三通孔和与第二通孔对应的第四通孔，所述盖板设有同时与第二通孔、第四通孔对应的螺纹孔，所述第一螺栓自下而上依次穿第一通孔和第三通孔，且所述第一螺栓的螺杆部设有紧固的螺母；所述第二螺栓自上而下依次穿过第二通孔和第四通孔，且所述第二螺栓的螺杆部下端与螺纹孔连接。
[0016]优选的，所述第一通孔和第二通孔均设置于密封座的法兰部的四角，且所述第一通孔与密封座的中心线之间的距离大于第二通孔与密封座的中心线之间的距离。
[0017]优选的，所述电擦机构包括可导电的固定座、电极输入件、电擦轮、法兰管、绝缘连接板和导电线，所述电极输入件安装于盖板的下面，所述固定座通过绝缘连接板与盖板连接，所述电极输入件通过导电线与固定座的侧面连接，所述固定座的下端设有安装孔，所述电擦轮安装于安装孔内，所述法兰管的一端插入电擦轮，所述法兰管的另一端与靶壳连接。
[0018]本实用新型相对于现有技术具有如下的优点:
[0019]1、本用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置中的靶芯机构增了隔水管，且隔水管与靶芯、密封板形成腔，从而防止磁钢靶与靶壳内的冷却水隔离，故磁钢磁不会因冷却水而生锈导致工作失效，提高了可靠性。
[0020]2、本用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置中的靶芯机构增了隔水管，则磁钢靶不会与靶壳接触，同时，隔水管约束了磁钢靶的位移，故防止发生磁路不均匀的情况发生，进一步避免了工作失效的情况出现，提高了可靠性。
[0021]3、本用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置中绝缘机构的绝缘板安装于盖板与密封座之间，且绝缘板位于盖板的上方，则在镀膜过程中，自靶材飞出的金属无法粘附在绝缘板，从而绝缘板可有效工作，保证了绝缘的效果，提高了可靠性，同时各个螺栓不需要使用单独的绝缘垫，方便安装和维护，降低了成本。
[0022]4、本用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置中绝缘机构利用8根螺栓进行固定，将8根螺栓分成两组，令两组螺栓反向安装，从而提高了密封性，同时减缓了螺栓的磨损，延长了螺栓的使用寿命。
[0023]5、本用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置中电擦机构的固定座通过绝缘连接板与盖板连接，且电极输入件连接于固定座的侧面，通过固定座将电能传递给电擦轮，从而简化了电擦机构的零件，缩短了加工周期，降低了成本，有利于进行大批量生产。
【专利附图】
【附图说明】
[0024]图1是本实用新型的用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置的结构示意图。
[0025]图2是本实用新型的用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置的左视图。
[0026]图3是图1中A-A方向的剖视图。
[0027]图4是图3中B-B方向的剖视图。
[0028]图5是本实用新型的绝缘机构的俯视图。
[0029]图6是图5中C-C方向的局部剖视图。
[0030]图7是本实用新型的电擦机构的结构示意图。
【具体实施方式】
[0031]下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
[0032]如图1至图4所示的用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置，包括盖板1、电擦机构
2、绝缘机构3和靶芯机构4，所述靶芯机构4的一端通过电擦机构2与盖板I连接，所述靶芯机构4的另一端通过绝缘机构3与盖板I连接；所述靶芯机构4包括靶壳401、靶芯402、磁钢祀403、隔水管404和2张密封板405,所述祀壳401的一端连接于电擦机构3,另一端连接于绝缘机构3 ;所述靶芯402安装于靶壳401内，所述隔水管404套于靶芯402，所述隔水管404的两端通过密封板405与靶芯402密封连接，所述靶芯402、隔水管404和密封板405形成密封腔5，所述磁钢靶403安装于靶芯402，且所述磁钢靶403位于密封腔5内。
[0033]为提高镀膜效率，所述靶芯机构4的数量具有2个，2个所述靶芯机构4平行设置于盖板下方。每个所述靶芯机构4中的磁钢靶404的数量为3。
[0034]所述靶芯402的下侧中部设有安装槽，所述磁钢靶402插入安装槽。具体的，磁钢靶与安装槽进行间隙配合，且磁钢靶通过磁力作用稳定的安装于安装槽内。
[0035]所述隔水管404呈圆形；所述隔水管404的材料为钢材。
[0036]如图5和图6所示，所述绝缘机构3包括密封座301、绝缘板302、连接管305和8个螺栓，所述密封座301的下端自上而下依次穿过绝缘板302和盖板I，所述密封座301的法兰部3011的下端面贴紧于绝缘板302的上面，所述绝缘板302的下端紧贴于盖板I的上面；所述密封座301的法兰部3011、绝缘板302和盖板I通过螺栓连接一起，所述连接管305 一端连接于密封座301，另一端连接于靶壳401。
[0037]所述螺栓的数量为8个，其中4个所述螺栓为第一螺栓303，剩下4个为第二螺栓304，所述密封座301的法兰部3011设有第一通孔和第二通孔，所述绝缘板302设有与第一通孔对应的第三通孔和与第二通孔对应的第四通孔，所述盖板I设有同时与第二通孔、第四通孔对应的螺纹孔，所述第一螺栓303自下而上依次穿第一通孔和第三通孔，且所述第一螺栓的螺杆部设有紧固的螺母；所述第二螺栓304自上而下依次穿过第二通孔和第四通孔，且所述第二螺栓304的螺杆部下端与螺纹孔连接。这8个螺栓分为两组，且两组螺栓以反向方安装，从而提高密封座的密封性，同时还避免自靶材中飞出的金属粘附于绝缘板后影响绝缘板的绝缘效果。
[0038]所述第一通孔和第二通孔均设置于密封座301的法兰部301的四角，且所述第一通孔与密封座301的中心线之间的距离大于第二通孔与密封座的中心线之间的距离。
[0039]如图7所示，所述电擦机构2包括可导电的固定座201、电极输入件202、电擦轮203、法兰管204、绝缘连接板205和导电线206，所述电极输入202件安装于盖板I的下面，所述固定座201通过绝缘连接板205与盖板I连接，所述电极输入件202通过导电线206与固定座201的侧面连接，所述固定座201的下端设有安装孔，所述电擦轮203安装于安装孔内，所述法兰管204的一端插入电擦轮203，所述法兰管204的另一端与靶壳401连接。
[0040]上述【具体实施方式】为本实用新型的优选实施例，并不能对本实用新型进行限定，其他的任何未背离本实用新型的技术方案而所做的改变或其它等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置，其特征在于:包括盖板、电擦机构、绝缘机构和祀芯机构，所述祀芯机构的一端通过电擦机构与盖板连接，所述祀芯机构的另一端通过绝缘机构与盖板连接；所述靶芯机构包括靶壳、靶芯、磁钢靶、隔水管和2张密封板，所述靶壳的一端连接于电擦机构，另一端连接于绝缘机构；所述靶芯安装于靶壳内，所述隔水管套于靶芯，所述隔水管的两端通过密封板与靶芯密封连接，所述靶芯、隔水管和密封板形成密封腔，所述磁钢靶安装于靶芯，且所述磁钢靶位于密封腔内。
2.根据权利要求1所述的用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置，其特征在于:所述靶芯的下侧中部设有安装槽，所述磁钢靶插入安装槽。
3.根据权利要求1所述的用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置，其特征在于:所述靶芯机构中的磁钢靶的数量为3。
4.根据权利要求1所述的用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置，其特征在于:所述隔水管呈圆形或方形；所述隔水管的材料为钢材。
5.根据权利要求1所述的用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置，其特征在于:所述靶芯机构的数量具有2个，2个所述靶芯机构平行设置于盖板下方。
6.根据权利要求1所述的用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置，其特征在于:所述绝缘机构包括密封座、绝缘板、连接管和8个螺栓，所述密封座的下端自上而下依次穿过绝缘板和盖板，所述密封座的法兰部的下端面贴紧于绝缘板的上面，所述绝缘板的下端紧贴于盖板的上面；所述密封座的法兰部、绝缘板和盖板通过螺栓连接一起，所述连接管一端连接于密封座，另一端连接于靶壳。
7.根据权利要求6所述的用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置，其特征在于:所述螺栓的数量为8个，其中4个所述螺栓为第一螺栓，剩下4个为第二螺栓，所述密封座的法兰部设有第一通孔和第二通孔，所述绝缘板设有与第一通孔对应的第三通孔和与第二通孔对应的第四通孔，所述盖板设有同时与第二通孔、第四通孔对应的螺纹孔，所述第一螺栓自下而上依次穿第一通孔和第三通孔，且所述第一螺栓的螺杆部设有紧固的螺母；所述第二螺栓自上而下依次穿过第二通孔和第四通孔，且所述第二螺栓的螺杆部下端与螺纹孔连接。
8.根据权利要求7所述的用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置，其特征在于:所述第一通孔和第二通孔均设置于密封座的法兰部的四角，且所述第一通孔与密封座的中心线之间的距离大于第二通孔与密封座的中心线之间的距离。
9.根据权利要求1至8中任意一项所述的用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置，其特征在于:所述电擦机构包括可导电的固定座、电极输入件、电擦轮、法兰管、绝缘连接板和导电线，所述电极输入件安装于盖板的下面，所述固定座通过绝缘连接板与盖板连接，所述电极输入件通过导电线与固定座的侧面连接，所述固定座的下端设有安装孔，所述电擦轮安装于安装孔内，所述法兰管的一端插入电擦轮，所述法兰管的另一端与靶壳连接。
【文档编号】C23C14/56GK203976905SQ201420356871
【公开日】2014年12月3日 申请日期:2014年6月30日 优先权日:2014年6月30日
【发明者】苏贵方 申请人:肇庆市大力真空设备有限公司