技术编号：33458117
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及真空逻辑阀的技术领域，具体为真空逻辑阀。背景技术.真空阀门是指在真空系统中，用来改变气流方向，调节气流量大小，切断或接通管路的真空系统元件，是指工作压力低于标准大气压的阀门。真空阀门关闭件用橡胶密封圈或金属密封圈密封，中国专利号为cnu所公开的一种真空逻辑阀采用阀芯在阀盖和阀座内侧滑动配合工作流路和控制流路使得真空阀在未工作状态内部真空与外部空气隔离，避免真空阀内部真空状态消失降低系统真空能耗，其存在以下问题：.一、采用阀芯在阀盖和阀座内侧滑动配合工作流路...
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