技术编号:33474068
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于超纯钛制备技术领域,具体涉及一种利用化学气相输运沉积制备高纯低氧钛的方法。背景技术.高纯ti及其化合物如tiw、tin、tisi有着很好的导热性、导电性、与一般布线金属及介质层材料呈惰性和有良好的粘附性并且能阻止布线材料向介质层扩散,因此高纯ti及其部分化合物是优秀的扩散阻挡层材料。此外, niti形状记忆合金由于其高可恢复的应变、大变形、抗腐蚀、生物相容性等特点而在微电子机械系统中作为微执行器,如微阀、微泵、微夹钳、微传感器等,并成功应用于航天航空、生物医疗、工业过程控制、电子...
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