激光加工装置和激光加工方法与流程技术资料下载

技术编号:33507484

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.本发明涉及激光加工装置和激光加工方法。背景技术.专利文献记载有激光加工装置,其包括:保持工件的保持机构、和对保持机构所保持的工件照射激光的激光照射机构。专利文献所记载的激光加工装置构成为,具有聚光透镜的激光照射机构相对于基台固定,通过保持机构使工件沿着与聚光透镜的光轴垂直的方向移动。.[现有技术文献][专利文献][专利文献]日本专利第号公报发明内容[发明要解决的技术问题]在上述的激光加工装置,有时通过将激光照射于对象物,...
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