技术编号：3350874
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及设置在大面积基板处理系统内的基座结构体，尤其涉 及设置在为制作平板显示器而在玻璃基板上蒸镀规定物质、或者对已 蒸镀的规定物质进行热处理的工艺处理室内部的基座结构体。背景技术最近，不仅对平板显示器的需求急剧增加，而且喜欢大画面显示 器的倾向也越发增加，因此对用于制造平板显示器的大面积基板处理 系统的关心越来越大。能够实现薄型化、轻型化和低电力消耗化的平板显示器的种类有LCD(Liquid Crystal Display, ^夜晶显示器)、PDP(p...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。