技术编号:3352271
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及化学化工,尤其涉及一种具有纳米级孔径的多孔氧化钩薄膜的制备方法。 背景技术氧化钨薄膜具有电致变色和气敏等特性,可应用于智能窗、显示器、H2传感器等领域。 具有纳米多孔结构的氧化钨薄膜,由于高的比表面积和特殊的光谱响应,能对其气敏及电致 变色灵敏度有所增强,近年来制备多孔氧化钨薄膜成为研究热点。目前报道的制备多孔氧化钨薄膜的方法主要是阳极氧化法和溶胶-凝胶法。阳极氧化法 能在表面得到孔径均匀分布的氧化钨薄膜,但由于衬底是钨薄片,不适宜在光学和微电子...
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