技术编号:33534770
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于分析化学领域,具体涉及一种电子级八氟环戊烯的检测方法。背景技术.高纯八氟环戊烯(cf)广泛应用于半导体器件制造过程中蚀刻制程中,特别是用于加工最小几何特征(如互连线、接触、沟槽等的宽度)的尺寸和选择性的蚀刻。其作为下一代蚀刻气体和最具吸引力的电子器件原材料之一,被认为具有竞争优势。.专利资料cnb公开了检测氟烯烃组合物泄漏的方法及其所用的传感器。特别地,该方法特别可用于检测氟烯烃制冷剂组合物从机动车冷却系统的泄漏。这类氟烯烃制冷剂组合物具有双键结构,这使它...
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