技术编号:3353945
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种镀膜装置,尤其涉及一种用于蒸镀过程中能够防止待镀工件被污 染的镀膜伞架。背景技术当前,许多工业产品表面都镀有功能薄膜,以改善产品表面的各种性能。如在光 学镜片的表面镀上一层抗反射膜,以降低镜片表面的反射率,降低入射光通过镜片的能量 损耗。又如在某些滤光元件表面镀上一层滤光膜,可滤掉某一预定波段的光,制成各种各 样的滤光片。一般地,镀膜方法主要包括离子镀膜法、射频磁控溅镀、真空蒸发法、化学气 相沉积法等。Ichiki,M.等人在 2003 年 ...
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