专利名称：镀膜伞架的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种镀膜装置，尤其涉及一种用于蒸镀过程中能够防止待镀工件被污 染的镀膜伞架。
背景技术：
当前，许多工业产品表面都镀有功能薄膜，以改善产品表面的各种性能。如在光 学镜片的表面镀上一层抗反射膜，以降低镜片表面的反射率，降低入射光通过镜片的能量 损耗。又如在某些滤光元件表面镀上一层滤光膜，可滤掉某一预定波段的光，制成各种各 样的滤光片。一般地，镀膜方法主要包括离子镀膜法、射频磁控溅镀、真空蒸发法、化学气 相沉积法等。Ichiki，M.等人在 2003 年 5 月发表于 2003Symposium on Design, Test, Integration andPackaging of MEMS/MOEMS StJife^I Thin film formation-a fabrication on non-planarsurface by spray coating method中介绍了通过喷涂在__平面形成薄膜的 方法。蒸镀是一种物理气相沉积技术，即以物理的方式进行薄膜沉积。具体地，其通过离 子束或电子束对蒸镀材料进行加热，使蒸镀材料变成气态或离子态，而沉积在待镀工件表 面以形成一蒸镀材料膜层。在对工件的某一面进行镀膜时，通常是将待镀工件固定于镀膜伞架上。在将待镀 工件固定于伞架的过程时，待镀工件暴露在环境中，环境中的粒子附着于待镀工件的表面， 使得上述粒子形成于镀膜内，造成镀膜产品不良。另外，蒸镀靶材设置于镀膜伞架下方，通 过蒸发而将靶材冲至镀膜伞架，从而对待镀工件的朝向镀膜伞架下方的一面进行镀膜。然 而，由于在蒸镀制程中，蒸镀源的离子在真空腔体内是以无序的方式运动，其容易从固定式 伞架的周围流动至伞架上方，附着在待镀工件的周缘及另一面从而污染待镀工件。
发明内容
因此，有必要提供一种镀膜伞架，能够避免在待镀工件安装及进行镀膜过程时防 止待镀工件污染。一种镀膜伞架，其包括伞架本体、转轴及遮罩。所述伞架本体开设有多个容置通 孔，用于容置多个待镀工件。所述遮罩通过所述转轴可转动地设置于伞架本体，所述遮罩与 所述伞架本体同轴并相互对应，用于遮挡伞架本体。所述遮罩具有自其中心向其边缘开设 的第一开口，以使伞架本体的部分容置通孔从所述第一开口露出。相较于现有技术，本技术方案提供的镀膜伞架，其包括有可以相对转动的伞架本 体和遮罩，遮罩遮挡伞架本体，遮罩开设有开口，待镀工件通过开口放置于伞架本体的容置 通孔内，并通过转动遮罩，使得放置有待镀工件的容置通孔被遮罩遮挡，从而可以减少外界 中的粒子附着于待镀工件的表面，从而可以提高镀膜工件镀膜的质量。
图1是本技术方案第一实施例提供的镀膜伞架的立体示意图。图2是本技术方案第一实施例提供的镀膜伞架的立体分解示意图。图3是本技术方案第二实施例提供的镀膜伞架的立体分解示意图。
具体实施例方式
下面将结合多个附图及实施例，对本技术方案提供的镀膜伞架作进一步的详细说明。请一并参阅图1及图2，本发明实施例提供一种镀膜伞架100，其包括一个伞架本 体110、旋转轴120、一个遮罩130、一个挡板140及一个固定件150。伞架本体110具有相对的第一表面111和第二表面112。其中，第一表面111为 内凹表面，其与蒸镀源相对。第二表面112为外凸表面。自第一表面111向第二表面112 开设有多个容置通孔113，用于容置待镀工件。多个容置通孔113大小相等，且在伞架本体 110上整齐排布。本实施例中，多个容置通孔113排列于以伞架本体110中心为圆心的多个 同心圆周上。位于同一圆周上的多个容置通孔113等间距等角度设置。转轴120固定于伞架本体110，并使得遮罩130和挡板140可相对伞架本体110转 动。转轴120设置于伞架本体110的第二表面112中心向远离伞架本体110的方向延伸。 转轴120与伞架本体110同轴设置。本实施例中，转轴120包括同轴设置且均为圆柱形的 支撑段121和延伸段122。支撑段121的直径大于延伸段122的直径。在延伸段122远离 支撑段121的一端，形成有外螺纹123。遮罩130用于遮挡伞架本体110。遮罩130与伞架本体110的第二表面112相对。 本实施例中，遮罩130也呈伞状，其尺寸与伞架本体110相当。遮罩130与伞架本体110相 互平行且同轴设置。在遮罩130的中心开设有第一配合孔131，第一配合孔131的孔径小于 支撑段121的直径且略大于延伸段122的直径。遮罩130通过第一配合孔131配合套入转 轴120的延伸段122上，并使得遮罩130可以绕转轴120转动。由于支撑段121的直径大 于第一配合孔131的直径，使得遮罩130与伞架本体110相互分离。自遮罩130的中心向 其边缘开设有开口 132，开口 132的宽度大于容置通孔113的孔径。本实施例中，开口 132 与配合孔131不相连通。遮罩130遮挡伞架本体110时，伞架本体110的部分容置通孔113 从开口 132露出。挡板140设置于遮罩130远离伞架本体110的一侧。挡板140用于在进行镀膜时 遮挡开口 132。本实施例中，挡板140的包括相互连接的安装部141和遮挡部142。安装部 141呈圆片状，在其中心开设有第二配合孔143，第二配合孔143的孔径与第一配合孔131 的孔径相等。第二配合孔143也配合套入延伸段122，挡板140可以绕转轴120转动。遮挡 部142的形状与开口 132的形状相同。通过旋转挡板140，可以使得挡板140的遮挡部142 与遮罩130的开口 132相对应，从而使得伞架本体110上从开口 132露出的容置通孔113 被遮挡部142遮挡。当然，遮挡部142也可以为其他形状，只需要其能够全部遮挡开口 132 即可。固定件150设置于延伸段122上，从而使得遮罩130和第一挡板140与延伸段122 相配合。固定件150可以为本技术领域常见的螺帽等结构。固定件150呈圆筒状，其内壁 设置有与外螺纹123相配合的内螺纹151。固定件150螺合于延伸段122上的外螺纹123。
本实施例提供的镀膜伞架100，进行镀膜前，可以使得第一挡板140不遮挡遮罩 130的开口 132，从而可以往从开口 132露出的容置通孔113内放置待镀工件。并且，可以 通过相对于伞架本体110转动遮罩130，从而使得未放置待镀工件的容置通孔113依次从开 口 132露出，同时使得放置有待镀工件的容置通孔113被遮罩130遮挡，以避免放置于容置 通孔113的待镀工件表面附着杂质粒子。如此通过不断转动遮罩130，可以使得全部的容置 通孔113都从开口 132露出过并均可被放置入待镀工件。在整个伞架本体110的容置通孔 113内放置待镀工件完成后，旋转挡板140，使得挡板140遮挡开口 132，从而使得全部的待 镀工件均被有效遮蔽。如此在进行镀膜时，可以使得待镀工件不需要进行镀膜的一面被遮 挡，从而可以使得镀膜工件不需要镀膜的表面不会沉积蒸镀粒子，保证镀膜的质量。请参见图3，本技术方案第二实施例提供一种镀膜伞架200，其结构与第一实施例 提供的镀膜伞架100的结构相近，镀膜伞架200包括一个伞架本体210、旋转轴220、一个遮 罩230、一个第一挡板240及一个固定件260。不同之处在于，镀膜伞架200还包括一个第 二挡板250，并且遮罩230上开设有第一开口 232和第二开口 233。第一开口 232与第二开 口 233均自遮罩230的中心向其边缘开设。第一挡板240和第二挡板250的形状与第一实 施例中的挡板140的结构相同。本实施例中，第一开口 232与第二开口 233关于第一配合 孔231的中心对称设置。第一挡板240与第一开口 232相对应，用于遮挡从第一开口 231。 第二挡板250与第二开口 233相对应，用于遮挡从第二开口 233。本实施例提供的镀膜伞架200，进行镀膜前，可以使得第一挡板240不遮挡遮罩 230的第一开口 232，第二挡板250不遮挡遮罩230的第二开口 233，从而可以往从第一开口 232和第二开口 233露出的容置通孔211内放置待镀工件。并且，可以通过相对于伞架本体 210转动遮罩230，从而使得未放置待镀工件的容置通孔211依次从第一开口 232和第二开 口 233露出，同时使得放置有待镀工件的容置通孔211被遮罩230遮挡，以避免放置于容置 通孔211的待镀工件表面附着杂质粒子。如此通过不断转动遮罩230，可以使得全部的容置 通孔211都从第一开口 232或第二开口 233露出过并均可被放置入待镀工件。在整个伞架 本体210的容置通孔211内放置待镀工件完成后，旋转第一挡板240，使得第一挡板240遮 挡第一开口 232，旋转第二挡板250，使得第二挡板250遮挡第二开口 233，从而使得全部的 待镀工件均被有效遮蔽。如此在进行镀膜时，可以使得待镀工件不需要进行镀膜的一面被 遮挡，从而可以使得镀膜工件不需要镀膜的表面不会沉积蒸镀粒子，保证镀膜的质量。本实 施提供的镀膜伞架，可以从两个开口同时放置待镀工件，可以提升放置待镀工件的速度。本技术方案提供的镀膜伞架，其包括有可以相对转动的伞架本体和遮罩，遮罩遮 挡伞架本体，遮罩开设有开口，待镀工件通过开口放置于伞架本体的容置通孔内，并通过转 动遮罩，使得放置有待镀工件的容置通孔被遮罩遮挡，从而可以减少外界中的粒子附着于 待镀工件的表面，从而可以提高镀膜工件镀膜的质量。可以理解的是，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术构思做 出其它各种相应的改变与变形，而所有这些改变与变形都应属于本发明权利要求的保护范围。
权利要求
1.一种镀膜伞架，其包括伞架本体、转轴及遮罩，所述伞架本体开设有多个容置通孔， 用于容置多个待镀工件，所述遮罩通过所述转轴可转动地设置于伞架本体，所述遮罩与所 述伞架本体同轴并相互对应，用于遮挡伞架本体，所述遮罩具有自其中心向其边缘开设的 第一开口，以使伞架本体的部分容置通孔从所述第一开口露出。
2.如权利要求1所述的镀膜伞架，其特征在于，所述伞架本体与遮罩均呈伞状，所述遮 罩与伞架本体基本平行地设置于伞架本体一侧。
3.如权利要求2所述的镀膜伞架，其特征在于，所述转轴设置于伞架本体的中心，所 述遮罩的中心开设有与转轴相对应的第一配合孔，所述遮罩通过第一配合孔套设于所述转 轴ο
4.如权利要求3所述的镀膜伞架，其特征在于，所述转轴包括同轴连接的支撑段和延 伸段，所述支撑段靠近所述伞架本体，其直径大于第一配合孔的直径，所述延伸段远离所述 伞架本体，其直径小于或等于第一配合孔的直径，所述遮罩通过第一配合孔配合套设于所 述延伸段。
5.如权利要求4所述的镀膜伞架，其特征在于，所述镀膜伞架还包括固定件，所述固定 件固定于延伸段，所述遮罩位于固定件与伞架本体之间。
6.如权利要求1所述的镀膜伞架，其特征在于，所述镀膜伞架还包括第一挡板，所述第 一挡板可转动地设置于遮罩远离伞架本体的一侧，所述第一挡板用于遮挡所述第一开口。
7.如权利要求6所述的镀膜伞架，其特征在于，所述第一挡板包括安装部和遮挡部，所 述安装部开设有与转轴相对应的第二配合孔，所述第一挡板通过第二配合孔套设于转轴， 所述遮挡部的形状与第一开口的形状相对应。
8.如权利要求6所述的镀膜伞架，其特征在于，所述遮罩还具有自其中心向其边缘开 设的第二开口，所述镀膜伞架还包括第二挡板，所述第二挡板可转动地设置于遮罩远离伞 架本体的一侧，用于遮挡所述第二开口。
9.如权利要求8所述的镀膜伞架，其特征在于，所述第一开口和第二开口关于遮罩的 中心对称设置。
10.如权利要求1所述的镀膜伞架，其特征在于，所述多个容置通孔环绕伞架本体的中 心轴线排列，且排列在伞架本体的中心为圆心的多个同心圆周上。
全文摘要
本发明提供一种镀膜伞架，其包括伞架本体、转轴及遮罩。所述伞架本体开设有多个容置通孔，用于容置多个待镀工件。所述遮罩通过所述转轴可转动地设置于伞架本体，所述遮罩与所述伞架本体同轴并相互对应，用于遮挡伞架本体。所述遮罩具有自其中心向其边缘开设的第一开口，以使伞架本体的部分容置通孔从所述第一开口露出。
文档编号C23C14/56GK101994095SQ20091030561
公开日2011年3月30日 申请日期2009年8月14日 优先权日2009年8月14日
发明者林后尧, 蔡泰生 申请人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司