技术编号:3354162
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及镀膜技术,特别涉及一种镀膜装置。 背景技术目前,镀膜装置一般包括一个镀膜腔体、一个抽气系统及一个靶材。镀膜腔体包括 一个竖直方向的中轴。靶材一般沿中轴方向放置在镀膜腔体的中央,而多个待镀膜的基板 沿中轴方向放置,环布在靶材的周围(镀膜腔体的边缘部分)。抽气系统一般通过一个导管 连通到镀膜腔体沿中轴方向的中部。镀膜开始时,抽气系统将镀膜腔体抽成真空,然后再往 镀膜腔体中通入反应气体以进行镀膜。在镀膜过程中,抽气系统用于持续抽走镀膜腔体中 的反应气体...
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