技术编号:3354849
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种抛光含有贵金属的基底的方法。背景技术 用于平面化或抛光基底表面的组合物和方法是本领域公知的。抛光组合物(也称为抛光浆液)一般含有在水溶液中的研磨材料且通过将表面与饱和了该浆液组合物的抛光垫相接触而涂覆到该表面上。一般研磨材料包括二氧化硅、氧化铈、氧化铝、氧化锆、和氧化锡。美国专利5,527,423,例如,公开了一种通过将表面与含有在含水介质中的高纯度细金属氧化物颗粒的抛光浆液相接触而对金属层进行化学机械抛光的方法。可选择地,可将该研磨材料引入...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。