技术编号:3355643
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种石英晶片抛光装置,更具体地说它是一种石英晶片专用抛光 盘,它可用于石英晶片的双面抛光。背景技术现有的石英晶片抛光装置包括上抛光盘和下抛光盘,上抛光盘上有流沙孔,上抛 光盘的下端面有抛光垫,上抛光盘通过上盘带动轴带动旋转,上抛光盘和上盘带动轴之间 通过定位块固定在一起,下抛光盘的上端面有抛光垫,下抛光盘通过下盘带动轴带动旋转, 下抛光盘和下盘带动轴之间通过下抛光盘定位销固定在一起,有外齿圈带动轴位于下抛光 盘内中间的通孔内,有内齿圈围绕在下...
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