专利名称：：石英晶片专用抛光盘的制作方法
技术领域：
：本实用新型涉及一种石英晶片抛光装置，更具体地说它是一种石英晶片专用抛光盘，它可用于石英晶片的双面抛光。
背景技术：
：现有的石英晶片抛光装置包括上抛光盘和下抛光盘，上抛光盘上有流沙孔，上抛光盘的下端面有抛光垫，上抛光盘通过上盘带动轴带动旋转，上抛光盘和上盘带动轴之间通过定位块固定在一起，下抛光盘的上端面有抛光垫，下抛光盘通过下盘带动轴带动旋转，下抛光盘和下盘带动轴之间通过下抛光盘定位销固定在一起，有外齿圈带动轴位于下抛光盘内中间的通孔内，有内齿圈围绕在下抛光盘外，内齿圈和外齿圈均通过带动轴带动。在内齿圈和外齿圈之间有游轮，游轮上有放置抛光晶片的孔位(如图1所示)，电动机通过变速箱提供四种不同的速度，通过各处自的带动轴传递，上抛光盘为逆时针速度旋转，下抛光盘为顺时针速度旋转，内齿圈和外齿圈为不同的顺时针速度，内齿圈和外齿圈带动游轮运动，游轮则放置在需加工的抛光晶片上(如图2所示)。这种结构的抛光装置，其抛光盘为平面结构，导致抛光中抛光液流动差，不均勻，抛光出的抛光晶片频率散差大，次品和废品较多。
发明内容本实用新型的目的在于克服上述现有石英晶片平面抛光盘的不足之处，而提供一种石英晶片专用抛光盘。本实用新型的目的是通过如下措施来达到的石英晶片专用抛光盘，其特征在于它包括上抛光盘和下抛光盘，所述上抛光盘和下抛光盘上均固定有抛光垫，所述的抛光垫上有纵横交错的开槽。在上述技术方案中，所述抛光垫的背面通过背胶与上抛光盘或下抛光盘粘贴在一起。在上述技术方案中，所述抛光垫的厚度为0.6-0.8mm，槽宽为1.0-1.5mm，槽深为0.5mmο本实用新型石英晶片专用抛光盘具有如下优点解决抛光液流动差的问题，方法简单，效果明显，降低了生产成本，工作效率提高了50%。下表为原有抛光盘(未开槽)与本实用新型抛光盘(已开槽)加工后的石英晶片的效果比较图。<table>tableseeoriginaldocumentpage3</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage4</column></row><table>通过表1可知采用已开槽的抛光盘大大提高了石英晶片的加工质量和技术水平。图1为石英晶片抛光装置的结构示意图。图2为游轮的布置结构示意图。图3为本实用新型石英晶片专用抛光盘的结构示意图。图中1.上抛光盘，2.下抛光盘，3.抛光垫(聚氨酯发泡抛光垫)，4.流沙孔，5.定位块，6.上盘带动轴，7.下盘带动轴，8.下抛光盘定位销，9.外齿圈带动轴，10.变速箱，11.外齿圈，12.内齿圈，13.游轮，14.孔位，15.开槽。具体实施方式以下结合附图详细说明本实用新型的实施情况，但它们并不构成对本实用新型的限定，仅作举例而已。同时通过说明本实用新型的优点将变得更加清楚和容易理解。参阅附图可知石英晶片专用抛光盘，它包括上抛光盘1和下抛光盘2，所述上抛光盘1和下抛光盘2上均固定有抛光垫3，所述的抛光垫3上有纵横交错的开槽15。抛光垫3的背面通过背胶与上抛光盘1或下抛光盘2粘贴在一起。抛光垫3的厚度为0.6-0.8mm,槽宽为1.0-1.5mm，槽深为0.5_。使用时，电动机通过变速箱10和传动轴(包括上盘带动轴6、下盘带动轴7、外齿圈带动轴9、内齿圈带动轴)分别带动上抛光盘1、下抛光盘2、内齿圈12和外齿圈22旋转，其中的游轮13位于内齿圈12和外齿圈22之间，并由内齿圈12和外齿圈22带动旋转，上抛光盘1和下抛光盘2旋转时用于游轮13内孔位14中的石英晶片进行双面抛光，向流沙孔4内注入的抛光粉在抛光过程中通过开槽15均勻流出。权利要求石英晶片专用抛光盘，其特征在于它包括上抛光盘和下抛光盘，所述上抛光盘和下抛光盘上均固定有抛光垫，所述的抛光垫上有纵横交错的开槽。2.根据权利要求1所述的石英晶片专用抛光盘，其特征在于所述抛光垫的背面通过背胶与上抛光盘或下抛光盘粘贴在一起。3.根据权利要求1或2所述的石英晶片专用抛光盘，其特征在于抛光垫的厚度为`0.6-0.8mm。4.根据权利要求3所述的石英晶片专用抛光盘，其特征在于抛光垫上开槽的槽宽为`1.0-1.5_，槽深为0.5_。专利摘要石英晶片专用抛光盘，它包括上抛光盘和下抛光盘，所述上抛光盘和下抛光盘上均固定有抛光垫，所述的抛光垫上有纵横交错的开槽。它克服了抛光盘为平面结构，导致抛光中抛光液流动差，不均匀，抛光出的抛光晶片频率散差大，次品和废品较多的缺点。本实用新型石英晶片专用抛光盘解决抛光液流动差的问题，方法简单，效果明显，降低了生产成本，工作效率提高了50％。文档编号B24B29/02GK201552490SQ20092008765公开日2010年8月18日申请日期2009年7月28日优先权日2009年7月28日发明者卢美芝,吴刚,徐承红,朱永昌,李丽萍,杨岸博申请人:武汉海创电子股份有限公司