新型精细研磨机的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种新型精细研磨机，上机身上通过连杆连接上工作盘上工作盘的顶端连接有冷却系统，其内设有上研磨盘；下机身上安装有下工作盘和控制装置，下机身内安装有穿过下工作盘的中心轴，中心轴上安装有太阳轮和固定装置，固定装置与上工作盘上的通孔配合，太阳轮上套设有与其啮合的下研磨盘，下工作盘的内壁上安装有内齿圈，下研磨盘上放置有若干游星轮，游星轮内放置研磨工件，游星轮与内齿圈和太阳轮分别啮合，研磨效率高，提高工件表面光亮度，实现软启动，软停止，调速稳定，冲击小，太阳轮变速范围更广，适应不同研磨工艺的要求，提高运转平稳性，操作简单易行，工作可靠稳定，实用性、互换性和操作和维修的方便性。
【专利说明】
新型精细研磨机
技术领域
[0001 ]本实用新型涉及一种新型精细研磨机。【背景技术】
[0002]研磨机是一种生产纳米材料的高效率超微研磨分散机械，适用于硅片、石英晶片、 陶瓷片、砷化钾片及其它硬脆材料的双面精密研磨加工。现在对于工件表面的平面度要求越来越高，但现有的平面研磨工艺达不到客户的要求，同时在使用过程中会造成平板表面的不均匀磨削，为了达到检测标注需要进行反复研磨，现有的磨料的研磨质量较差，无法保证研磨表面的粗糙度，降低工件质量。【实用新型内容】
[0003]本实用新型要解决的技术问题是:克服现有技术中之不足，提供一种实现了软启动，软停止，调速稳定，冲击小，太阳轮变速范围更广，适应不同研磨工艺的要求的新型精细研磨机。
[0004]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种新型精细研磨机，具有上机身、下机身以及上机身与下机身之间连接的支架，上机身上通过连杆连接上工作盘上工作盘的顶端连接有冷却系统，上工作盘内设有上研磨盘，冷却系统与设在上研磨盘上的圆孔连接；
[0005]所述下机身上安装有下工作盘和控制装置，下机身内安装有穿过下工作盘的中心轴，中心轴上安装有太阳轮和固定装置，固定装置与上工作盘上的通孔配合，太阳轮上套设有与其啮合的下研磨盘，下工作盘的内壁上安装有内齿圈，所述的下研磨盘上放置有若干游星轮，游星轮内放置研磨工件，游星轮与内齿圈和太阳轮分别啮合。
[0006]进一步的，所述的连杆通过电机I带动上工作盘运转，下研磨盘通过电机n带动运转，中心轴通过电机m带动运转。
[0007]进一步的，所述的冷却系统包括有冷却箱、冷却栗、进水管以及回水管，所述冷却箱的顶端安装有冷却栗，冷却栗通过控制装置上的控制按钮控制冷却液的进水，冷却液是由金刚砂和水组成的，冷却箱中设有进水管与上工作盘连接，下工作盘的底端设有回水管与冷却箱连通，冷却箱安放在机床的外侧，以减少对机床的震动，冷却系统不仅可以起到冷却作用，而却还可以冲走研磨下来的工件切肩，以免他们划伤工件表面，为便于冷却液的循环使用，冷却液由冷却栗，从冷却液箱中吸出，由进水管穿过上、下床身，进入下端管接头， 由上研磨盘中心的圆孔喷出，回液从水盆底部出口管和回水管流回冷却箱。
[0008]进一步的，所述的上研磨盘、下研磨盘的工作面上均开设有网格。
[0009]进一步的，所述的固定装置的外圆周表面上设有若干凹槽，凹槽与上工作盘通孔上的凸起相互配合。
[0010]进一步的，所述的网格中相邻直线夹角为30°?120°。
[0011]进一步的，所述的冷却箱由耐磨材料制成。
[0012]本实用新型的有益效果是:本实用新型抛光研磨效率高，提高工件表面的光亮度， 实现了软启动，软停止，调速稳定，冲击小，太阳轮变速范围更广，适应不同研磨工艺的要求，提高运转平稳性，压力等级设定更方便精确，操作简单易行，工作可靠稳定，实用性、互换性和操作和维修的方便性。【附图说明】
[0013]下面结合附图和实施方式对本实用新型进一步说明。[0〇14]图1是本实用新型的结构不意图；
[0015]图2是本实用新型的下工作盘的结构示意图；[0〇16]图3是本实用新型研磨机传动原理图；
[0017]图4是本实用新型冷却系统的结构示意图。
[0018]图中1.上机身，2.下机身，3.支架，4.连杆，5.上工作盘，6.电机I，7.下工作盘，8.中心轴，9.太阳轮，10.固定装置，11.下研磨盘，12.内齿圈，13.电机II，14.电机m，15.冷却系统，16.控制装置，17.游星轮，18.冷却箱，19.冷却栗，20.进水管，21.回水管。【具体实施方式】
[0019]现在结合附图对本实用新型作进一步的说明。这些附图均为简化的示意图仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
[0020]如图1?4所示的一种新型精细研磨机，具有上机身1、下机身2以及上机身1与下机身2之间连接的支架3,上机身1上通过连杆4连接上工作盘5,上工作盘5的顶端连接有冷却系统15,上工作盘5内设有上研磨盘，冷却系统15与设在上研磨盘上的圆孔连接；
[0021]所述下机身2上安装有下工作盘7和控制装置16,下机身2内安装有穿过下工作盘7 的中心轴8,中心轴8上安装有太阳轮9和固定装置10,固定装置10与上工作盘5上的通孔配合，太阳轮9上套设有与其啮合的下研磨盘11，下工作盘7的内壁上安装有内齿圈12,所述的下研磨盘11上放置有若干游星轮17,游星轮17内放置研磨工件，游星轮17与内齿圈12和太阳轮9分别嗤合。
[0022]连杆4通过电机16带动上工作盘5运转，下研磨盘11通过电机II 13带动运转，中心轴8通过电机mi4带动运转，冷却系统15包括有冷却箱18、冷却栗19、进水管20以及回水管 21，所述冷却箱18的顶端安装有冷却栗19，冷却栗19通过控制装置8上的控制按钮控制冷却液的进水，冷却液是由金刚砂和水组成的，冷却箱18中设有进水管20与上工作盘5连接，下工作盘7的底端设有回水管21与冷却箱18连通。
[0023]上研磨盘、下研磨盘11的工作面上均开设有网格，固定装置10的外圆周表面上设有若干凹槽，凹槽与上工作盘5通孔上的凸起相互配合，网格中相邻直线夹角为30°?120°， 冷却箱18由耐磨材料制成。
[0024]具体的上研磨盘、下研磨盘11之间放置游星轮17,可至少放置5个游星轮17,游星轮17内部嵌放着研磨工件，游星轮17与内齿圈12和太阳轮9啮合，经过太阳轮9、与内齿圈12 的转速调节可以使得游星轮27在下研磨盘11之间均匀的、以几乎一致的线速度做相对运动，他们之间通过冷却液添加着微小的游离磨料，这些细小的磨粒通过塑性切削、滚乳等形式为去除材料的方式对工件进行双面磨削。
[0025]同时实现了软启动，软停止，调速稳定，冲击小，采用同步拖动，太阳轮变速范围更广，能适应不同研磨工艺的要求，太阳轮9与内齿圈12同步抬升，满足了取放工件及调整游星轮17啮合位置的要求，上研磨盘、下研磨盘11采用斜齿轮传动，提高了运转平稳性。采用 PLC控制，压力采用电一气比例阀闭环反馈控制，更方便精确，操作简单易行，工作可靠稳定，实用性、互换性和操作和维修的方便性。
[0026]上述实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。
【主权项】
1.一种新型精细研磨机，具有上机身(1)、下机身(2)以及上机身(1)与下机身(2)之间 连接的支架(3)，其特征在于:所述的上机身(1)上通过连杆(4)连接上工作盘(5)，上工作盘 (5)的顶端连接有冷却系统(15)，上工作盘(5)内设有上研磨盘，冷却系统(15)与设在上研 磨盘上的圆孔连接；所述下机身(2)上安装有下工作盘(7)和控制装置(8)，下机身(2)内安装有穿过下工作 盘(7)的中心轴(8)，中心轴(8)上安装有太阳轮(9)和固定装置(10)，固定装置(10)与上工 作盘(5)上的通孔配合，太阳轮(9)上套设有与其啮合的下研磨盘(11)，下工作盘(7)的内壁 上安装有内齿圈(12)，所述的下研磨盘(11)上放置有若干游星轮(17)，游星轮(17)内放置 研磨工件，游星轮(17)与内齿圈(12)和太阳轮(9)分别啮合。2.根据权利要求1所述的新型精细研磨机，其特征在于:所述的连杆(4)通过电机1(6) 带动上工作盘(5)运转，下研磨盘(11)通过电机II (13)带动运转，中心轴(8)通过电机m (14)带动运转。3.根据权利要求1所述的新型精细研磨机，其特征在于:所述的冷却系统(15)包括有冷 却箱(18)、冷却栗(19)、进水管(20)以及回水管(21)，所述冷却箱(18)的顶端安装有冷却栗 (19)，冷却栗(19)通过控制装置(8)上的控制按钮控制冷却液的进水，冷却液是由金刚砂和 水组成的，冷却箱(18)中设有进水管(20)与上工作盘(5)连接，下工作盘(7)的底端设有回 水管(21)与冷却箱(18)连通。4.根据权利要求1所述的新型精细研磨机，其特征在于:所述的上研磨盘、下研磨盘 (11)的工作面上均开设有网格。5.根据权利要求1所述的新型精细研磨机，其特征在于:所述的固定装置(10)的外圆周 表面上设有若干凹槽，凹槽与上工作盘(5)通孔上的凸起相互配合。6.根据权利要求4所述的新型精细研磨机，其特征在于:所述的网格中相邻直线夹角为 30°?120°。7.根据权利要求3所述的新型精细研磨机，其特征在于:所述的冷却箱(18)由耐磨材料 制成。
【文档编号】B24B37/34GK205630283SQ201620351958
【公开日】2016年10月12日
【申请日】2016年4月25日
【发明人】李新华
【申请人】常州瞻驰光电科技有限公司