技术编号:33560764
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及显示面板的技术领域,尤其涉及一种基板的膜厚检测方法、基板及显示装置。背景技术.有机发光二极管(organic electroluminescence display,oled)显示器进行薄膜封装的化学气相沉积tfe cvd封装工艺时,需要对基板的膜厚进行检测,以便在后续加工过程中对显示屏幕的膜厚进行管控。.目前,基板的膜厚进行检测的方法是在基板的长短边等周边上设置测试点位,以这些周边测试点位的均值作为整张基板的膜厚,实际生产过程中,按照测试点位的数据对显示屏幕的膜厚进行调整。但...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。