技术编号：3357159
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及有关捆装高纯度对阴极，详细内容是有关在捆包状态下进行保管·搬运，在此之后即使从捆包中取出用于溅射，溅射中使用开始时的稳定性和长寿命也不会发生老化的捆包高纯度对阴极。近年，溅射在半导体器件，集成电路，平板式显示器(FPD)等显示器件，记忆存储器等的制造中被广泛应用。为了保管·搬运溅射所使用高纯度对阴极，通常的方法是对其进行捆包。但是，对于不同的捆包过程，存在有高纯度对阴极在喷射使用之际的性能，特别是开始时的稳定性和长寿命性发生老化问题。另一方面，因...
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